공정 지원 장비는 중요한 단계에서 안정적인 표면 및 재료 조건을 보장합니다. 이 범주에는 접착력 향상을 위한 플라즈마 클리너(O₂, Ar 화학)와 금속 증착을 위한 전기 도금 시스템(Cu, Ni, Au)이 포함됩니다. 챔버 형상, 가스 화학, 그리고 화학적 호환성을 공정에 맞추는 것이 필수적입니다.
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