TEL ALPHA 8S 수직 확산로는 열 산화, 어닐링 및 확산과 같은 고온 공정을 위해 반도체 웨이퍼를 배치 방식으로 처리합니다. 수직형 구조 덕분에 제어된 공정 환경 내에서 여러 웨이퍼를 동일한 열 사이클을 거치게 할 수 있습니다.
로 영역 전체의 온도 균일성, 가스 유량 제어 및 웨이퍼 간격은 모두 공정 일관성에 영향을 미칩니다. ALPHA 8S 플랫폼은 다양한 구성으로 공급되었으며, 설치된 로 튜브, 히터, 가스 공급 시스템 및 제어 하드웨어에 따라 사용 가능한 공정 레시피가 결정되었습니다.
중고 TEL ALPHA 8S를 선택하기 전에 특정 공정 구성, 지원되는 웨이퍼 크기, 퍼니스 튜브 상태 및 가스 시스템 설정을 확인하십시오. 이러한 세부 사항은 해당 장비가 필요한 산화, 확산 또는 어닐링 공정에 적합한지 여부를 결정합니다.
텔 알파 8S 주요 사양
| 제조업체 | 도쿄 전자 유한회사 |
|---|---|
| 상표 | 전화 |
| 모델 | 알파 8S |
| 장비 유형 | 수직 배치 확산 및 열처리로 |
| 지원되는 웨이퍼 크기 | 공개된 목록에 따르면 150mm 및 200mm 웨이퍼입니다. |
| 웨이퍼 가공 | 일괄 열처리 |
| 공개된 공정 신청서 | 습식 산화, 건식 산화, 어닐링 및 구성 의존형 LPCVD |
| 실제 프로세스 구성 | 설치된 노관, 가스 패널, 석영 기구 및 레시피 확인 후 적용됩니다. |
| 상태 | 중고 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고, 검사 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
