고성능 리소그래피 트랙으로서 TEL MARK Vz 통합형 코팅제 및 현상제 이 시스템은 대량 생산 라인용 200mm 웨이퍼 포토레지스트 공정을 처리합니다. HMDS 프라이밍, 레지스트 스핀 코팅, 베이킹 및 패턴 현상을 단일 자동화 플랫폼 내에서 원활하게 통합합니다.
최적화된 유체 공급 및 온도 관리를 통해 엄격한 제어를 유지합니다. 포토레지스트 균일성 웨이퍼 표면 전체에 걸쳐 적용됩니다. 향상된 에지 비드 제거 및 환경 격리 기능이 함께 작동하여 입자 생성을 억제하고 패터닝 결함을 줄입니다.
장시간 연속 작동을 위해 설계된 이 트랙은 높은 처리량과 손쉬운 예방 유지보수의 균형을 제공합니다. 안정적인 리소그래피 출력을 유지하기 위해 전력 소자 및 개별 반도체 제조 시설에 널리 채택되고 있습니다.
TEL MARK Vz 주요 사양
| 제조업체 | 도쿄 전자 유한회사 |
|---|---|
| 상표 | 전화 |
| 모델 | 마크 Vz |
| 장비 유형 | 웨이퍼 코팅기 및 현상기 트랙 시스템 |
| 지원되는 웨이퍼 크기 | 공개된 목록에 따르면 6인치 웨이퍼입니다. |
| 나열된 프로세스 구성 | 2C 및 2D; 실제로 설치된 모듈을 확인해야 합니다. |
| 1차 프로세스 | 포토레지스트 코팅 및 현상 |
| 상태 | 중고 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
