SEMES BLUEICE PRIME 300mm 웨이퍼 세척 시스템은 탁월한 온도 균일성과 정밀한 화학 물질 제어 기능을 제공하며, 특히 고온 인산 에칭 및 박리 작업에서 뛰어난 성능을 발휘합니다. 독자적인 척 설계는 열 편차를 최소화하여 표면 오염 물질을 효과적으로 제거하는 동시에 섬세한 웨이퍼 패턴이 손상되지 않도록 보호합니다.
이 시스템은 다양한 습식 공정에 맞춰 레시피를 유연하게 조정할 수 있으며, 장기간 대량 생산 중에도 극도로 낮은 불량률을 유지합니다. 기존 습식 공정 장비를 업그레이드하든 생산 능력을 확장하든, 이 시스템은 웨이퍼 수율을 향상시키는 데 있어 믿을 수 있는 선택입니다.
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SEMES BLUEICE PRIME 기술 사양
| 매개변수 | 설명 |
|---|---|
| 장비 유형 | 단일 웨이퍼 세척 시스템 |
| 제조업체 | SEMES |
| 모델 | 블루이스 프라임 |
| 웨이퍼 크기 | 300mm |
| 프로세스 유형 | 습식 웨이퍼 세척 |
| 주요 응용 프로그램 | 논리 및 메모리 반도체 제조 |
| 청소 기술 | 고온 인산 세척 |
| 목표 | 입자, 잔류물, 표면 오염 |