캐논 FPA-3000i4 i-라인 스테퍼는 365nm 노광 파장에서 작동하며, 설치된 구성에 따라 6인치 및 8인치 웨이퍼에서 포토리소그래피를 지원합니다. 이 장비는 전력 반도체, 개별 소자, MEMS 및 기존 i-라인 리소그래피가 패터닝 요구 사항을 충족하는 기타 공정에 적용됩니다.
이 투영 광학계는 0.63의 개구수(numerical aperture)와 1:5의 축소 비율, 그리고 22 × 22 mm의 노광 영역을 특징으로 합니다. 오버레이 정렬은 다층 패터닝을 지원하며, 달성 가능한 해상도와 처리량은 공정 조건, 레지스트 시스템 및 웨이퍼 구성에 따라 달라집니다.
중고 Canon FPA-3000i4를 평가하는 팹(Fab)의 경우, 주요 고려 사항에는 스테이지 정확도, 정렬 성능, 광학 상태, 유지 보수 기록 및 기존 코팅 및 현상 장비와의 호환성이 포함됩니다. 구매 전에 특정 장비에 대한 예비 부품 및 기술 지원을 확인해야 합니다.
캐논 FPA-3000i4 사양
| 제조업체 | 정경 |
|---|---|
| 모델 | FPA-3000i4 |
| 장비 유형 | i-Line 리소그래피 스테퍼 |
| 노출 파장 | 365nm i-라인 |
| 해결 | 0.35 μm |
| 투영 감소 비율 | 5:1 |
| 웨이퍼 크기 | 방향성이 평평한 8인치 SEMI 웨이퍼 |
| 웨이퍼 로더 | 타입6-L |
| 조준선 크기 | 6인치 |
| 레티클 체인저 | 캐논 표준형 |
| 챔버 타입 | CD-80 |
| 상태 | 중고 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 및 검사 상황에 따라 변동될 수 있습니다. |
