キヤノンFPA-3000i4 i線ステッパーは、365nmの露光波長で動作し、設置構成に応じて6インチおよび8インチウェハのフォトリソグラフィに対応します。用途としては、パワー半導体、ディスクリートデバイス、MEMSなど、確立されたi線リソグラフィがパターニング要件を満たす様々なプロセスが挙げられます。
投影光学系は、開口数0.63、縮小比1:5、露光領域22×22mmを備えています。オーバーレイアライメントにより多層パターニングに対応し、達成可能な解像度とスループットは、プロセス条件、レジストシステム、およびウェハ構成によって異なります。
中古のCanon FPA-3000i4を評価するファブにとって、重要な検討事項は、ステージ精度、アライメント性能、光学系の状態、メンテナンス記録、および既存のコーティング・現像装置との互換性です。購入前に、該当機種のスペアパーツと技術サポート体制を確認する必要があります。
キヤノン FPA-3000i4 仕様
| メーカー | キヤノン |
|---|---|
| モデル | FPA-3000i4 |
| 機器の種類 | i-Lineリソグラフィステッパー |
| 露光波長 | 365 nm i線 |
| 解決 | 0.35μm |
| 投影縮小率 | 5:1 |
| ウェハーサイズ | 8インチSEMIウェハー（配向面付き） |
| ウェハーローダー | TYPE6-L |
| レティクルサイズ | 6インチ |
| レティクルチェンジャー | キヤノン標準タイプ |
| チャンバータイプ | CD-80 |
| 状態 | 中古半導体製造装置 |
| 可用性 | 在庫状況および検査結果により変更される場合があります。 |
