Máy khắc quang Canon FPA-3000i4 i-line hoạt động ở bước sóng chiếu sáng 365 nm và hỗ trợ khắc quang trên các tấm wafer 6 inch và 8 inch, tùy thuộc vào cấu hình được cài đặt. Ứng dụng của nó bao gồm các chất bán dẫn công suất, các linh kiện rời rạc, MEMS và các quy trình khác mà kỹ thuật khắc quang i-line hiện có đáp ứng được các yêu cầu tạo mẫu.
Hệ thống quang học chiếu có khẩu độ số 0,63, tỷ lệ giảm 1:5 và trường chiếu 22 × 22 mm. Việc căn chỉnh lớp phủ hỗ trợ tạo mẫu đa lớp, trong khi độ phân giải và thông lượng đạt được phụ thuộc vào điều kiện quy trình, hệ thống chất cản quang và cấu hình wafer.
Đối với các nhà máy chế tác vinyl đang cân nhắc mua máy Canon FPA-3000i4 đã qua sử dụng, các yếu tố quan trọng cần xem xét bao gồm độ chính xác của bàn đặt mẫu, hiệu suất căn chỉnh, tình trạng quang học, hồ sơ bảo trì và khả năng tương thích với thiết bị tráng phủ và phát triển hiện có. Cần xác nhận phụ tùng thay thế và hỗ trợ kỹ thuật cho máy cụ thể trước khi mua.
Thông số kỹ thuật Canon FPA-3000i4
| Nhà sản xuất | Canon |
|---|---|
| Người mẫu | FPA-3000i4 |
| Loại thiết bị | Máy khắc quang i-Line |
| Bước sóng phơi sáng | Đường i-Line 365 nm |
| Nghị quyết | 0,35 μm |
| Tỷ lệ giảm dự kiến | 5:1 |
| Kích thước wafer | Tấm wafer bán dẫn 8 inch có hướng phẳng |
| Bộ nạp wafer | LOẠI 6-L |
| Kích thước tâm ngắm | 6 inch |
| Bộ thay đổi tâm ngắm | Loại tiêu chuẩn Canon |
| Loại buồng | CD-80 |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào lượng hàng hiện có và tình trạng kiểm tra. |
