나노메트릭스 나노스펙 AFT 2100은 신뢰할 수 있는 제품입니다. 비접촉식 필름 두께 측정 시스템 반도체 웨이퍼 검사에 사용합니다. 분광반사측정법이 장비는 산화물, 질화물 및 포토레지스트와 같은 투명한 박막을 측정하여 일상적인 측정에 필요한 빠른 판독값을 제공합니다. 프로세스 모니터링.
조절 가능한 현미경 대물렌즈와 유연한 측정 스팟 크기를 갖춘 이 시스템은 웨이퍼 손상 없이 정확한 두께 데이터를 제공합니다. 기판 전체에 걸쳐 박막 균일성을 검증하고 반복 가능한 측정 보고서를 생성하여 클린룸의 일상적인 품질 관리에 이상적입니다.
콤팩트하고 견고한 이 시스템은 작업자 교육이 최소화되고 유지 보수 비용이 저렴합니다. 기존 클린룸 워크플로우에 완벽하게 통합되어 박막 제어를 엄격하게 유지하고 제품 수율을 보호합니다.
나노메트릭스 AFT 2100 주요 사양
| 제조업체 | 나노미터법 |
|---|---|
| 제품군 | 나노스펙 |
| 모델 | 오후 21시 |
| 장비 유형 | 광학 박막 두께 측정 시스템 |
| 표기된 웨이퍼 크기 | 150mm / 6인치 |
| 측정 방법 | 비접촉 분광 반사율 및 광학 간섭 |
| 발표된 파장 범위 | 360~760 nm |
| 공개된 두께 범위 | 100 Å 미만 ~ 약 50,000 Å |
| 발표된 재현성 | 필름 및 측정 조건에 따라 약 ±2%~±5%의 오차가 발생할 수 있습니다. |
| 대물렌즈 | 5배, 10배, 50배 |
| 공개된 측정 지점 크기 | 대물렌즈에 따라 약 50µm, 25µm, 5µm입니다. |
| 영화 요구 사항 | 필름은 측정 범위 내에서 투명해야 하며 알려진 광학적 특성을 가져야 합니다. |
| 상태 | 중고 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고, 검사 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
