เครื่องวิเคราะห์สเปกตรัม NanoSpec AFT 2100 จาก Nanometrics เป็นเครื่องที่เชื่อถือได้ ระบบวัดความหนาฟิล์มแบบไม่สัมผัส สำหรับการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยใช้ สเปกโตร-รีเฟล็กโตเมตรีเครื่องมือนี้ใช้วัดความหนาของชั้นฟิล์มบางโปร่งใส เช่น ออกไซด์ ไนไตรด์ และโฟโตเรซิสต์ ให้ผลการวัดที่รวดเร็วสำหรับการใช้งานทั่วไป การตรวจสอบกระบวนการ.
ระบบนี้มาพร้อมเลนส์กล้องจุลทัศน์ที่ปรับได้และขนาดจุดวัดที่ยืดหยุ่น ช่วยให้ได้ข้อมูลความหนาที่แม่นยำโดยไม่ทำให้แผ่นเวเฟอร์เสียหาย ระบบนี้ตรวจสอบความสม่ำเสมอของฟิล์มบนพื้นผิวต่างๆ และสร้างรายงานการวัดที่ทำซ้ำได้ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการควบคุมคุณภาพประจำวันในห้องปลอดเชื้อ
ระบบนี้มีขนาดกะทัดรัดและทนทาน ต้องการการฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงานน้อยที่สุด และช่วยลดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษา สามารถผสานรวมเข้ากับขั้นตอนการทำงานในห้องคลีนรูมที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น เพื่อรักษาการควบคุมฟิล์มบางอย่างเข้มงวดและปกป้องผลผลิตของผลิตภัณฑ์ของคุณ
ข้อมูลจำเพาะหลักของ Nanometrics AFT 2100
| ผู้ผลิต | นาโนเมตร |
|---|---|
| กลุ่มผลิตภัณฑ์ | นาโนสเปค |
| แบบอย่าง | เอเอฟที 2100 |
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบวัดความหนาฟิล์มบางแบบออปติคอล |
| ขนาดเวเฟอร์ที่ระบุไว้ | 150 มม. / 6 นิ้ว |
| วิธีการวัด | การสะท้อนแสงสเปกตรัมแบบไม่สัมผัสและการรบกวนทางแสง |
| ช่วงความยาวคลื่นที่เผยแพร่ | 360–760 นาโนเมตร |
| ช่วงความหนาที่เผยแพร่ | น้อยกว่า 100 Å ถึงประมาณ 50,000 Å |
| ความสามารถในการทำซ้ำที่เผยแพร่ | โดยประมาณ ±2% ถึง ±5% ขึ้นอยู่กับฟิล์มและสภาวะการวัด |
| เลนส์วัตถุ | 5 เท่า, 10 เท่า และ 50 เท่า |
| ขนาดจุดวัดที่เผยแพร่ | โดยประมาณ 50 ไมโครเมตร 25 ไมโครเมตร และ 5 ไมโครเมตร ขึ้นอยู่กับเลนส์วัตถุ |
| ข้อกำหนดเกี่ยวกับภาพยนตร์ | ฟิล์มควรมีความโปร่งใสในช่วงการวัดและมีคุณสมบัติทางแสงที่ทราบแล้ว |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบัน การตรวจสอบ และการยืนยันการกำหนดค่า |
