Nordson MARCH AP-600은 접합, 코팅 및 증착 워크플로우에 앞서 반도체 기판, 패키징 어셈블리 및 MEMS 부품에 대한 배치 플라즈마 처리를 수행합니다.
이 건식 표면 처리 방식은 액체 화학 약품 없이 유기 오염 물질과 미세 잔류물을 제거하고, 표면 에너지를 높여 계면 접착력을 강화합니다.
챔버 내부의 균일한 플라즈마 코팅은 대량 생산을 지원합니다. 작업자는 전력, 가스 유량 및 노출 시간을 조정하여 깨지기 쉬운 재료부터 단단한 재료까지 다양한 가공물을 처리할 수 있습니다. 내장된 공정 모니터링 시스템은 모든 사이클 동안 작동 매개변수를 기록하여 배치 간 균일한 세척 품질을 유지하고 표면 준비 부족으로 인한 불량품 발생을 줄입니다.
Nordson MARCH AP-600 장비 정보
| 제조업체 | 노드슨 3월 |
|---|---|
| 모델 | AP-600 |
| 장비 유형 | 배치형 진공 플라즈마 처리 시스템 |
| 주요 응용 분야 | 플라즈마 세척, 표면 활성화 및 접착력 향상 |
| 대표적인 산업 분야 | 반도체 제조, 마이크로일렉트로닉스 패키징 및 전자 조립 |
| 처리 형식 | 호환 부품, 트레이, 매거진, 보트 및 기타 운반체의 일괄 처리 |
| 플라즈마 모드 | 설치된 선반 및 전극 배열에 따라 직접 또는 하류 플라즈마 처리가 가능합니다. |
| RF 시스템 | 제조사 플랫폼 설명에 따른 자동 임피던스 매칭 기능을 갖춘 13.56MHz RF 발생기 |
| 제어 시스템 | PLC 기반 터치스크린 제어 플랫폼 |
| 상태 | 중고 플라즈마 처리 장비 |
| 실제 구성 | 사용 가능한 특정 시스템에 따라 확인되었습니다. |
| 납품 범위 | 견적서 및 확정된 장비 목록을 기준으로 합니다. |
| 해운 | 수출 포장 및 전 세계 배송 |
