Nordson MARCH AP-600は、半導体基板、パッケージアセンブリ、MEMSコンポーネントに対して、接合、コーティング、成膜などの工程に先立って、バッチ式プラズマ処理を実行します。
この乾式表面処理は、液体化学薬品を使用せずに有機汚染物質や微細な残留物を除去し、表面エネルギーを高め、界面接着力を強化します。
チャンバー内部全体に均一なプラズマ照射を行うことで、大量生産に対応できます。オペレーターは、脆いワークピースや硬いワークピースなど、幅広い材料に合わせて、出力、ガス流量、照射時間を調整できます。内蔵のプロセス監視機能により、各サイクルにおける運転パラメータが記録され、バッチ間で均一な洗浄品質が維持されるとともに、表面処理不足による不良品の発生を削減します。
Nordson MARCH AP-600 マシン情報
| メーカー | ノードソン 3月 |
|---|---|
| モデル | AP-600 |
| 機器の種類 | バッチ式真空プラズマ処理システム |
| 主な用途 | プラズマ洗浄、表面活性化、接着性向上 |
| 代表的な産業 | 半導体製造、マイクロエレクトロニクスパッケージング、電子機器組立 |
| 処理フォーマット | 互換性のある部品、トレイ、マガジン、ボート、その他のキャリアの一括処理 |
| プラズマモード | 設置された棚と電極配置に応じて、直接プラズマまたは下流プラズマが生成される。 |
| RFシステム | メーカーのプラットフォーム説明に基づく、自動インピーダンス整合機能を備えた13.56MHz RFジェネレーター |
| 制御システム | PLCベースのタッチスクリーン制御プラットフォーム |
| 状態 | 中古プラズマ処理装置 |
| 実際の構成 | 利用可能な特定のシステムに従って確認済み |
| 納品範囲 | 見積もりと確認済みの機器リストに基づく |
| 配送 | 輸出梱包および世界各国への配送 |
