เครื่อง Nordson MARCH AP-600 ดำเนินการประมวลผลพลาสมาแบบเป็นชุดบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ ชุดประกอบบรรจุภัณฑ์ และชิ้นส่วน MEMS ก่อนกระบวนการเชื่อม การเคลือบ และการตกตะกอน
การบำบัดพื้นผิวแบบแห้งนี้จะกำจัดสารปนเปื้อนอินทรีย์และสารตกค้างขนาดเล็กโดยไม่ต้องใช้สารเคมีเหลว ช่วยเพิ่มพลังงานพื้นผิวและเสริมสร้างการยึดเกาะระหว่างพื้นผิว
การครอบคลุมของพลาสมาอย่างสม่ำเสมอภายในห้องช่วยรองรับการผลิตในปริมาณมาก ผู้ปฏิบัติงานสามารถปรับกำลังไฟ การไหลของก๊าซ และระยะเวลาการสัมผัสให้เหมาะสมกับวัสดุหลากหลายประเภท รวมถึงชิ้นงานที่เปราะและแข็ง การตรวจสอบกระบวนการในตัวจะบันทึกพารามิเตอร์การทำงานตลอดทุกรอบการทำงาน รักษาคุณภาพการทำความสะอาดให้สม่ำเสมอในทุกชุดการผลิต และลดของเสียจากการเตรียมพื้นผิวที่ไม่เพียงพอ
ข้อมูลเครื่องจักร Nordson MARCH AP-600
| ผู้ผลิต | นอร์ดสัน มีนาคม |
|---|---|
| แบบอย่าง | เอพี-600 |
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบบำบัดพลาสมาสุญญากาศแบบแบทช์ |
| การใช้งานหลัก | การทำความสะอาดด้วยพลาสมา การกระตุ้นพื้นผิว และการปรับปรุงการยึดเกาะ |
| อุตสาหกรรมทั่วไป | การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การบรรจุภัณฑ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และการประกอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ |
| รูปแบบการประมวลผล | การบำบัดแบบกลุ่มสำหรับชิ้นส่วน ถาด นิตยสาร เรือ และภาชนะบรรจุอื่นๆ ที่เข้ากันได้ |
| โหมดพลาสมา | พลาสมาโดยตรงหรือพลาสมาปลายทาง ขึ้นอยู่กับการจัดวางชั้นวางและอิเล็กโทรดที่ติดตั้งไว้ |
| ระบบ RF | เครื่องกำเนิดสัญญาณ RF ความถี่ 13.56 MHz พร้อมระบบจับคู่ความต้านทานอัตโนมัติ ตามคำอธิบายแพลตฟอร์มของผู้ผลิต |
| ระบบควบคุม | แพลตฟอร์มควบคุมหน้าจอสัมผัสแบบ PLC |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์แปรรูปพลาสมามือสอง |
| การกำหนดค่าจริง | ยืนยันตามระบบเฉพาะที่มีอยู่ |
| ขอบเขตการส่งมอบ | อ้างอิงจากใบเสนอราคาและรายการอุปกรณ์ที่ได้รับการยืนยันแล้ว |
| การส่งสินค้า | บรรจุภัณฑ์เพื่อการส่งออกและการจัดส่งทั่วโลก |
