에펨 수리하다

다중 포트 EFEM에서 특정 포트가 "도킹 준비" 확인 응답을 간헐적으로 지연시키는 현상이 발생했으며, 다른 포트들은 정상적으로 확인 응답을 보였습니다. 이러한 지연으로 인해 도어 개방 시퀀스는 유지되었지만, 항상 경보음이 울리는 것은 아니었습니다.

증상이 여러 FOUP에서 한 포트에만 나타났기 때문에 캐리어 상태는 우선 배제되었습니다. 다음으로 도킹 액추에이터가 위치에 늦게 도달하는 것인지, 아니면 위치 피드백 센서가 늦게 보고하는 것인지를 판단해야 했습니다. 액추에이터 스트로크 타이밍은 사양 범위 내에 있었고, 완전 도킹 위치에서의 피드백 신호는 간헐적이었습니다.

해당 포트의 도킹 위치 피드백 센서를 교체했습니다. 커넥터와 배선을 점검하고 다시 연결한 결과, 손상된 부분은 발견되지 않았습니다.

검증에는 지연 준비 이벤트가 발생하지 않도록 여러 차례 연속적인 도킹/언도킹 주기를 포함했으며, 모든 포트에서 도어 개폐 시간을 비교했습니다.

매핑 결과에서 캐리어 상단 절반에 빈 슬롯이 잘못 표시되는 현상이 간헐적으로 발생했는데, 이는 적재 포트가 도어 플레이트 서비스 주기를 완료한 후에만 나타났습니다. 하단 슬롯은 일관되게 매핑되었습니다.

증상은 운송업체가 아닌 항구를 따라 나타났습니다. 센서 응답은 정적 테스트에서 안정적이었습니다. 도어 플레이트 이동 후 상단 슬롯에서만 나타나는 패턴은 센서 고장이 아니라 도어 플레이트 정비 과정에서 발생한 미세한 정렬 편차를 시사합니다.

지도 센서 장착 기준점을 서비스 기준점과 대조하여 확인하고 수정했습니다. 센서 교체는 필요하지 않았습니다.

장착 수정 후 알려진 배열을 기준으로 기준선 맵을 다시 설정했습니다. 그 결과, 전체 캐리어 맵에서 이전에 잘못된 빈 슬롯으로 보고되었던 상위 슬롯을 포함하여 전체 스택에 걸쳐 슬롯별 일관성이 확인되었습니다.