EFEM修理

マルチポートEFEMにおいて、特定のポートで「ドッキング準備完了」の確認が断続的に遅延する現象が発生した。他のポートでは確認が正常に行われていた。この遅延によりドア開閉シーケンスは停止したが、必ずしもハードアラームが作動するとは限らなかった。

症状が複数のFOUPで同じポートに留まったため、まずキャリアの状態が原因ではないと判断されました。次に、ドッキングアクチュエータが位置に到達するのが遅れたのか、位置フィードバックセンサの報告が遅れたのかが問題となりました。アクチュエータのストロークタイミングは仕様範囲内でしたが、完全にドッキングした位置でのフィードバック信号は断続的でした。

該当ポートのドッキング位置フィードバックセンサーを交換しました。コネクタとハーネスを点検し、再度接続しましたが、損傷は見つかりませんでした。

検証では、遅延準備完了イベントがゼロであることを確認するために、ドッキング／アンドッキングのサイクルを複数回連続して実行し、すべてのポートでドアの開閉タイミングを比較した。

マッピング結果では、キャリアの上半分に誤った空きスロットが断続的に報告されたが、これはロードポートがドアプレートのサービスサイクルを完了した後のみであった。下半分のスロットは一貫してマッピングされた。

症状はキャリアではなくポートに起因していた。静的テストではセンサーの応答は安定していた。ドアプレートの移動後、上部のスロットのみに症状が現れたことから、センサーの故障ではなく、ドアプレートの整備中に生じたわずかな位置ずれが原因であることが示唆された。

マッピングセンサーの取り付け位置は、サービス基準面と照らし合わせて確認し、修正しました。センサーの交換は不要でした。

マウント補正後、既知の配置に基づいてベースラインマップが再確立された。その後作成されたキャリア全体のマップは、以前に誤った空スロットを報告していた上部スロットを含め、スタック全体にわたってスロットごとの一貫性を示した。