TEL의 검증된 리소그래피 플랫폼인 TEL MARK 8은 200mm 웨이퍼 포토레지스트 워크플로우를 위한 코팅 및 현상 기능을 결합합니다. 포토레지스트 코팅, 열 베이킹 및 노광 후 현상 공정이 하나의 연속적인 시퀀스 내에서 실행되어 성숙한 공정 노드에서 패터닝을 수행합니다.
모듈식 워크스테이션 레이아웃은 레시피 조정을 위한 충분한 공간을 제공합니다. 정밀한 스핀 속도 및 온도 제어를 통해 포토레지스트 필름 두께를 일정하게 유지하고, 통합된 에지 제거 기능은 웨이퍼 가장자리의 결함 생성을 줄입니다.
수많은 반도체 제조 공장들이 일관된 일일 생산량을 유지하기 위해 이 플랫폼에 의존하고 있습니다. 잘 구축된 기계적 구조 덕분에 계획되지 않은 가동 중단 시간이 최소화되어, 리소그래피 용량을 확대할 때 안정적인 선택이 됩니다.
텔 마크 8 주요 사양
| 제조업체 | 도쿄 전자 유한회사 |
|---|---|
| 상표 | 전화 |
| 모델 | 마가복음 8장 |
| 장비 유형 | 웨이퍼 코팅기 및 현상기 트랙 시스템 |
| 지원되는 웨이퍼 크기 | 공개된 목록에 따르면 6인치 및 8인치 웨이퍼입니다. |
| 나열된 프로세스 구성 | 2C+2D; 실제로 설치된 모듈 수를 확인해야 합니다. |
| 1차 프로세스 | 포토레지스트 코팅 및 현상 |
| 상태 | 사용된 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
