TEL MARK 8, một nền tảng in thạch bản đã được chứng minh từ TEL, kết hợp khả năng phủ và xử lý cho quy trình làm việc chất cản quang trên wafer 200mm. Quá trình phủ chất cản quang, nung nhiệt và xử lý sau chiếu xạ được thực hiện trong một chuỗi liên tục để tạo hình mẫu ở các nút công nghệ đã hoàn thiện.
Thiết kế trạm làm việc dạng mô-đun tạo ra không gian rộng rãi để tinh chỉnh công thức. Tốc độ quay và kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp giữ độ dày màng chất cản quang ổn định, trong khi chức năng loại bỏ cạnh tích hợp giúp giảm thiểu sự hình thành khuyết tật dọc theo các cạnh của tấm wafer.
Nhiều nhà máy sản xuất chip dựa vào nền tảng này để duy trì sản lượng ổn định hàng ngày. Kiến trúc cơ khí vững chắc giúp hạn chế thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch, biến nó trở thành lựa chọn đáng tin cậy khi tăng cường năng lực sản xuất chip.
Thông số kỹ thuật chính của TEL MARK 8
| Nhà sản xuất | Công ty TNHH Điện tử Tokyo |
|---|---|
| Thương hiệu | ĐIỆN THOẠI |
| Người mẫu | MARK 8 |
| Loại thiết bị | Hệ thống theo dõi máy phủ và phát triển wafer |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | Theo danh sách hiện có, có các loại wafer 6 inch và 8 inch. |
| Cấu hình quy trình được liệt kê | 2C+2D; cần xác nhận các mô-đun đã lắp đặt thực tế. |
| Quá trình chính | Phủ lớp cản quang và quá trình phát triển |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại và xác nhận cấu hình. |
