STK-7080은 실리콘, 탄화규소(SiC), 갈륨비소(GaAs), 질화갈륨(GaN) 기판을 포함한 4~8인치 웨이퍼용 반자동 진공 웨이퍼 마운터입니다. 100~750μm 두께의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 보호 필름을 직접 롤러 압력이 아닌 진공을 이용하여 라미네이팅합니다. 이는 얇은 웨이퍼와 취성이 강한 광대역 밴드갭 소재에 가해지는 기계적 스트레스를 줄여 공정 중 파손을 최소화하는 데 도움이 됩니다.
이 시스템은 ±0.5mm의 배치 정확도, 시간당 최소 60개의 웨이퍼 처리량, 그리고 99.9%의 수율을 보장합니다. 클린룸 환경에서 진공 라미네이션을 통해 기포 없는 접합면을 얻을 수 있으며, 단 작업물과 필름에 입자 오염이 없어야 합니다. ULVAC 진공 펌프, PLC 제어 시스템, 그리고 10인치 터치스크린을 통해 공정 모니터링 및 파라미터 기록을 관리할 수 있습니다.
필름 공급, 절단 및 폐필름 수거는 자동화되어 있습니다. 안전 장비로는 광전식 안전장치와 비상 정지 장치가 있으며, 이온 팬은 정전기 발생을 제어하는 데 도움을 줍니다. STK-7080은 또한 500시간 이상의 평균 무고장 시간(MTBF), 1시간 미만의 평균 수리 시간(MTTR), 그리고 3% 미만의 계획된 가동 중지 시간을 자랑합니다.
이 장비는 설치 후 하드웨어 수정 없이 바로 생산에 투입할 수 있습니다. 검증된 생산 설계, 간편한 부품 교체, 낮은 유지보수 요구 사항 덕분에 특히 유연한 일정 관리와 초기 장비 비용이 중요한 고려 사항인 소량 및 중량 웨이퍼 처리 분야에 실용적인 선택입니다.
SINTAIKE STK-7080 기술 사양
| 매개변수 | 설명 |
|---|---|
| 장비 유형 | 비접촉식 진공 웨이퍼 마운터 |
| 제조업체 | 신타이케 |
| 기술 | 롤러 없는 진공 라미네이션 |
| 웨이퍼 크기 | 4인치 - 8인치 웨이퍼 |
| 웨이퍼 재료 | 실리콘, SiC, GaAs, GaN |
| 웨이퍼 두께 | 100μm - 750μm |
| 필름 종류 | 파란색 필름 / UV 필름 |
| 위치 정확도 | 대략 ±0.5mm |
| 제어 시스템 | 터치스크린 인터페이스를 갖춘 PLC 제어 |
| 작동 모드 | 반자동 |
사양은 장비 구성 및 고객 공정 요구 사항에 따라 달라질 수 있습니다.
