เครื่อง STK-7080 เป็นเครื่องติดตั้งเวเฟอร์แบบสุญญากาศกึ่งอัตโนมัติสำหรับเวเฟอร์ขนาด 4 ถึง 8 นิ้ว รวมถึงวัสดุพื้นฐานซิลิคอน ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) แกลเลียมอาร์เซไนด์ (GaAs) และแกลเลียมไนไตรด์ (GaN) เครื่องนี้รองรับความหนาของเวเฟอร์ตั้งแต่ 100 ถึง 750 ไมโครเมตร และเคลือบฟิล์มป้องกันโดยใช้สุญญากาศแทนการใช้แรงกดจากลูกกลิ้งโดยตรง ซึ่งช่วยลดความเครียดทางกลบนเวเฟอร์บางและวัสดุที่มีช่องว่างพลังงานกว้างที่เปราะบาง ช่วยลดการแตกหักระหว่างกระบวนการผลิต
ระบบนี้ระบุความแม่นยำในการวางตำแหน่งที่ ±0.5 มม. อัตราการผลิตอย่างน้อย 60 แผ่นต่อชั่วโมง และอัตราผลผลิต 99.9% ภายใต้สภาวะห้องปลอดเชื้อ การเคลือบด้วยสุญญากาศจะสร้างพื้นผิวที่ปราศจากฟองอากาศ โดยมีเงื่อนไขว่าชิ้นงานและฟิล์มต้องปราศจากสิ่งปนเปื้อนจากอนุภาค ปั๊มสุญญากาศ ULVAC การควบคุม PLC และหน้าจอสัมผัสขนาด 10 นิ้ว จะจัดการการตรวจสอบกระบวนการและการบันทึกพารามิเตอร์
การป้อนฟิล์ม การตัด และการเก็บกวาดเศษฟิล์มเป็นระบบอัตโนมัติ อุปกรณ์ความปลอดภัยประกอบด้วยม่านแสงและปุ่มหยุดฉุกเฉิน ในขณะที่พัดลมไอออนช่วยควบคุมการสะสมของไฟฟ้าสถิต นอกจากนี้ STK-7080 ยังระบุค่า MTBF ที่มากกว่า 500 ชั่วโมง ค่า MTTR ต่ำกว่าหนึ่งชั่วโมง และเวลาหยุดทำงานตามกำหนดการต่ำกว่า 3%
เครื่องจักรสามารถเริ่มการผลิตได้ทันทีหลังการติดตั้งโดยไม่ต้องดัดแปลงฮาร์ดแวร์ใดๆ ด้วยการออกแบบการผลิตที่เป็นที่ยอมรับ การเปลี่ยนชิ้นส่วนที่ไม่ซับซ้อน และความต้องการการบำรุงรักษาต่ำ ทำให้เครื่องจักรนี้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ในปริมาณน้อยและปานกลาง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกรณีที่การกำหนดตารางเวลาที่ยืดหยุ่นและต้นทุนอุปกรณ์เริ่มต้นเป็นสิ่งสำคัญ
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคของ SINTAIKE STK-7080
| พารามิเตอร์ | คำอธิบาย |
|---|---|
| ประเภทอุปกรณ์ | เครื่องติดตั้งเวเฟอร์สุญญากาศแบบไม่สัมผัส |
| ผู้ผลิต | ซินไตเก |
| เทคโนโลยี | การเคลือบสุญญากาศแบบไร้ลูกกลิ้ง |
| ขนาดเวเฟอร์ | เวเฟอร์ขนาด 4 นิ้ว - 8 นิ้ว |
| วัสดุเวเฟอร์ | ซิลิคอน, SiC, GaAs, GaN |
| ความหนาของเวเฟอร์ | 100μm - 750μm |
| ประเภทฟิล์ม | ฟิล์มสีน้ำเงิน / ฟิล์มยูวี |
| ความแม่นยำของตำแหน่ง | ประมาณ ±0.5 มม. |
| ระบบควบคุม | ระบบควบคุม PLC พร้อมหน้าจอสัมผัส |
| โหมดการทำงาน | กึ่งอัตโนมัติ |
คุณสมบัติอาจแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับการกำหนดค่าอุปกรณ์และข้อกำหนดกระบวนการของลูกค้า
