히타치 S-8840 고정밀 CD-SEM(임계 치수 주사 전자 현미경)은 고해상도 전자 광학 시스템을 사용하여 미세 패턴의 상세한 탑다운 이미지를 획득하고 기하학적 치수를 측정함으로써 에칭 및 리소그래피 공정을 정밀하게 제어할 수 있도록 합니다. 안정적인 전자빔 제어와 자동화된 공정 파라미터 설정은 CD 측정의 일관성과 반복성을 보장합니다. 미세한 패턴 편차 및 프로파일 이상까지 감지할 수 있는 이 시스템은 클린룸 환경에서의 일상적인 인라인 검사에 적합합니다.
지속적이고 장기적인 생산 요구 사항을 충족하도록 설계된 이 시스템은 안정적인 성능과 손쉬운 유지 보수를 제공합니다. 기존 제조 워크플로에 원활하게 통합되어 패턴 품질을 실시간으로 모니터링하여 최종 제품 수율을 보장합니다.
히타치 S-8840 주요 사양
| 제조업체 | 히타치 |
|---|---|
| 모델 | S-8840 |
| 장비 유형 | 임계 크기 주사 전자 현미경 |
| 지원되는 웨이퍼 크기 | 150mm와 200mm |
| 호환 가능한 웨이퍼 두께 | 제공된 자료에 따르면 약 0.4~1.0mm입니다. |
| 웨이퍼 카세트 용량 | 카세트당 웨이퍼 25개 |
| 공개된 이미지 해상도 | 5나노미터 |
| CD 측정 범위 | 0.1–10 µm |
| CD 반복성 | 3σ ≤5 nm 또는 ≤±1% |
| 주사전자현미경 확대 사진 | 1,000배에서 150,000배 |
| 광학 현미경 배율 | 약 110배 |
| 웨이퍼 핸들링 | 카세트 간 자동 웨이퍼 이송 및 정렬 |
| 상태 | 중고 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고, 검사 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
