日立S-8840高精度CD-SEM（關鍵尺寸掃描電子顯微鏡）採用高解析度電子光學系統，可捕捉精細圖案的俯視圖像並測量其幾何尺寸，從而實現對蝕刻和光刻製程的精確控制。穩定的電子束控制和自動化的製程參數設定確保了CD測量的一致性和可重複性。該系統能夠檢測微小的圖案偏差和輪廓異常，適用於無塵室環境中的常規線上檢測。
該系統專為滿足連續、長期生產的需求而設計，性能可靠且易於維護。它可無縫整合到現有的生產流程中，即時監控圖案質量，從而保障最終產品的良率。
日立S-8840主要規格
| 製造商 | 日立 |
|---|---|
| 模型 | S-8840 |
| 設備類型 | 臨界尺寸掃描電子顯微鏡 |
| 支援的晶圓尺寸 | 150毫米和200毫米 |
| 相容的晶圓厚度 | 根據現有清單，尺寸約為 0.4–1.0 毫米。 |
| 晶圓盒容量 | 每盒25片芯片 |
| 發布影像解析度 | 5奈米 |
| CD測量範圍 | 0.1–10 微米 |
| CD重複性 | 3σ ≤5 nm 或 ≤±1% |
| 掃描電子顯微鏡放大倍率 | 1,000倍至150,000倍 |
| 光學顯微鏡放大倍率 | 大約 110 倍 |
| 晶圓處理 | 盒式晶圓自動轉移和對準 |
| 狀態 | 二手半導體設備 |
| 可用性 | 視當前庫存、檢驗和配置確認情況而定 |
