AG Associates Heatpulse 8108은 뛰어난 성능 편차를 자랑하는 다목적 단일 웨이퍼 고속 열처리 장비입니다. 이온 주입 어닐링, 실리사이드 형성 및 박막 산화 등 150mm~200mm 웨이퍼 대량 생산에 필요한 핵심 제조 워크플로우를 처리합니다.
초고속 온도 상승률과 다중 구역 독립 가열 제어를 통해 웨이퍼 전체에 걸쳐 탁월한 열 균일성을 제공합니다. 고정밀 고온계 온도 감지 및 폐루프 피드백 제어를 통해 열 편차를 최소화하여 웨이퍼 간 반복 가능하고 일관된 공정 결과를 보장합니다.
이 열처리 장비는 현장에서 검증된 제품으로, 컴팩트한 크기와 유연한 작동 방식을 자랑합니다. 사용자 정의 레시피 프로그래밍과 고속 카세트 간 이송 기능을 지원하며, 뛰어난 신뢰성과 낮은 고장률로 열처리 공정을 안정화하고 전체 생산 수율을 향상시키는 데 비용 효율적인 솔루션입니다.
AG 히트펄스 8108 주요 사양
| 제조업체 | AG 어소시에이츠 |
|---|---|
| 제품군 | 히트펄스 |
| 모델 | 8108 |
| 장비 유형 | 단일 웨이퍼 고속 열처리 시스템 |
| 지원되는 웨이퍼 크기 | 최대 200mm; 제공되는 목록에는 150mm 및 200mm 웨이퍼가 명시되어 있습니다. |
| 가열 방식 | 상부 및 하부 텅스텐 램프 어레이 |
| 온도 측정 | 설치된 구성에 따라 열전대 또는 고온계가 사용됩니다. |
| 온도 조절 | 폐쇄 루프 공정 온도 제어 |
| 냉각 방식 | 공개된 플랫폼에서의 콜드월 열교환기 냉각 |
| 공개된 공정 신청서 | 어닐링, 제어 확산, 산화, 활성화 및 실리사이드 형성 |
| 공정 분위기 | 설치된 가스 패널, 연소실 및 옵션에 따라 다릅니다. |
| 상태 | 중고 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고, 검사 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
