초박형 컨포멀 필름 개발을 위해 SAMCO AD-230LP는 다음과 같은 기능을 제공합니다. 플라즈마 ALD생산 및 연구 개발 환경을 시험 운영할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다. 이 장비는 MEMS 및 첨단 전력 반도체 구조 제작에 필수적인 산화물 및 질화막 성장을 지원합니다.
이 시스템의 차별점은 정밀하게 조절된 가스 및 플라즈마 펄싱에 있습니다. 이를 통해 원자 규모의 두께 제어와 탁월한 성능을 구현할 수 있습니다. 단계 커버리지복잡하고 높은 종횡비의 형상을 코팅할 때 매우 중요합니다.
대형 생산 클러스터 장비와 달리, 이 소형 반응기는 설치 공간을 최소화하면서도 ALD 공정의 모든 조정 기능을 유지합니다. 빠른 챔버 세척과 간단한 하드웨어 유지 보수로 유휴 시간을 줄여 팀이 새로운 박막 레시피를 안정적으로 시험해 볼 수 있도록 합니다.
SAMCO AD-230LP 주요 사양
| 제조업체 | 삼코 |
|---|---|
| 모델 | AD-230LP |
| 장비 유형 | 로드락 플라즈마 강화 원자층 증착 시스템 |
| 증착 기술 | 플라즈마 강화 원자층 증착 |
| 플라즈마 방법 | 공개된 플랫폼 설계에서 용량 결합 플라즈마 |
| 웨이퍼 로딩 | 로드록 챔버 |
| 공개된 영화 자료 | AlN, SiN, AlOx 및 SiO2 |
| 필름 컨트롤 | 순차적인 표면 반응을 통한 원자층 수준의 두께 제어 |
| 주요 응용 분야 | 3차원 구조물의 절연막, 부동태화막 및 등각 코팅 |
| 상태 | 중고 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고, 검사 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
