超薄型コンフォーマルフィルムの開発において、SAMCO AD-230LPは 血漿ALD生産および研究開発環境におけるパイロット運用能力を備えています。このツールは、MEMSおよび高度なパワー半導体構造の製造に不可欠な、酸化物および窒化物膜の成長をサポートします。
このシステムを際立たせているのは、微調整されたガスとプラズマのパルス制御です。原子スケールの厚さ制御と卓越した性能を実現します。 ステップカバー複雑な高アスペクト比の形状にコーティングを施す際に特に重要となる。
大型生産クラスター装置とは異なり、このコンパクトなリアクターは設置面積を最小限に抑えつつ、ALDプロセスの完全な調整機能を維持します。チャンバーの迅速な洗浄と簡単なハードウェアメンテナンスにより、待機時間を短縮し、チームは新しい薄膜レシピを確実に試すことができます。
SAMCO AD-230LPの主な仕様
| メーカー | サムコ |
|---|---|
| モデル | AD-230LP |
| 機器の種類 | ロードロック式プラズマ強化原子層堆積システム |
| 成膜技術 | プラズマ強化原子層堆積法 |
| プラズマ法 | 公開されたプラットフォーム設計における容量結合プラズマ |
| ウェーファーロード | ロードロックチャンバー |
| 公開された映画資料 | AlN、SiN、AlOx、SiO2 |
| フィルムコントロール | 連続的な表面反応による原子層レベルの厚さ制御 |
| 主な用途 | 絶縁層、不動態化膜、および三次元構造のコンフォーマルコーティング |
| 状態 | 中古半導体製造装置 |
| 可用性 | 現在の在庫状況、検査および構成確認を条件とします。 |
