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ThinkLaser SigmaClean 무잔류 반도체 웨이퍼 소프트 마킹 시스템

ThinkLaser SigmaClean은 100~200mm 웨이퍼에 소프트 마킹을 수행합니다. 클래스 1 클린룸 인증을 획득했으며, SuperSoftMark® 기술로 이물질 없이 깨끗한 마킹을 유지하고, 마킹 깊이는 약 2.6μm입니다.

ThinkLaser SigmaClean Debris-Free Semiconductor Wafer Soft-Marking System 장비 이미지
구성 검토 모델 및 설치된 옵션
신규/중고 공급 프로젝트 가능 여부에 따라 달라질 수 있습니다.
글로벌 배송 목적지 기반 평가
기술 견적 요청 패키지 및 프로세스 매칭

그만큼 씽크레이저 시그마클린 웨이퍼 식별 방식을 재정의합니다. 소프트 마킹 프로세스이 기술은 클린룸 반도체 공정 워크플로우에 맞춰 특별히 설계되었습니다. 기판 재료를 제거하는 대신, 레이저는 표면 특성을 변화시켜 마크를 형성함으로써 기판 손상 위험을 제거합니다. 잔해 발생 일반적인 레이저 마킹과 공통적입니다.

이 시스템은 선명한 이미지를 생성합니다. OCR로 스캔 가능한 식별자 웨이퍼용입니다. 모든 마킹 출력물은 다음 사항을 준수합니다. SEMI 요구사항이를 통해 여러 후속 제조 단계에 걸쳐 추적성이 유지되도록 보장합니다. 기존 웨이퍼 처리 시퀀스에 원활하게 통합되어 추적성을 유지합니다. 웨이퍼 무결성 대량 생산 공정 전반에 걸쳐 오염 위험을 최소화합니다.

ThinkLaser SigmaClean Debris-Free Semiconductor Wafer Soft-Marking System