SINTAIKE STK-6020 เวเฟอร์เมานท์

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ SINTAIKE STK-6020 ทำหน้าที่ติดเทปเคลือบแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ก่อนการเจียรด้านหลัง โครงสร้างการเคลือบแบบลูกกลิ้งควบคุมแรงตึง การกระจายความร้อน และสถานะไฟฟ้าสถิตตลอดวงจรการติดเทปเพื่อให้ได้การยึดเกาะที่สม่ำเสมอทั่วพื้นผิวเวเฟอร์ เครื่องทำงานแบบกึ่งอัตโนมัติ: ผู้ปฏิบัติงานใส่แผ่นเวเฟอร์ จากนั้นเครื่องจะทำการคลายฟิล์ม การติดด้วยลูกกลิ้ง และการตัดขอบ เครื่องนี้ใช้งานได้กับเทปตัดสีน้ำเงินและเทปกันรังสียูวีสำหรับเวเฟอร์ซิลิคอนและเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมในเวิร์กโฟลว์ห้องคลีนรูมระดับนำร่องและระดับกลาง

การวิเคราะห์เทคโนโลยีหลักของเครื่องเคลือบเวเฟอร์ SINTAIKE STK-6020

หัวใจหลักของเครื่องจักรคือชุดลูกกลิ้งสัมผัสสำหรับการเคลือบ ชุดนี้ช่วยรักษาแรงกดของลูกกลิ้งให้คงที่และสม่ำเสมอทั่วระนาบของแผ่นเวเฟอร์ ลดปริมาณอากาศที่ติดอยู่ซึ่งเป็นสาเหตุของการหลุดลอกและการแตกหักระหว่างกระบวนการทำให้บางลงในภายหลัง การซิงโครไนซ์อุณหภูมิระหว่างลูกกลิ้งและแผ่นรองกันไฟฟ้าสถิตช่วยรักษาเสถียรภาพของกาว ป้องกันความร้อนสูงเกินไปเฉพาะจุดหรือจุดยึดติดที่ไม่แข็งแรง

ระบบป้องกัน ESD หลายขั้นตอนผสานรวมอากาศไอออนไนซ์ หัวจับนำไฟฟ้า และสารเคลือบลูกกลิ้งป้องกันไฟฟ้าสถิต เพื่อลดการสะสมของประจุ ซึ่งจะช่วยจำกัดความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตต่อวัสดุพื้นผิวที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต กลไกม้วนเทปช่วยรักษาแรงดึงในการคลายเทปให้คงที่ ป้องกันการยืดตัว รอยย่น และการยึดติดที่ไม่สม่ำเสมอของเทปบนเวเฟอร์บางๆ

โมดูลตัดคู่ประกอบด้วยใบมีดตรงและใบมีดวงกลมที่ให้ความร้อน ความร้อน ณ จุดตัดจะทำให้ขอบเทปอ่อนตัวลง ลดเสี้ยนที่เหลืออยู่ และลดงานตัดแต่งด้วยมือเพิ่มเติม หมุดกำหนดตำแหน่งแบบใช้ลมจะจัดแนวเวเฟอร์โดยใช้ขอบเรียบหรือรอยบากรูปตัว V เป็นจุดอ้างอิง ช่วยให้การเปลี่ยนระหว่างเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้วทำได้อย่างรวดเร็ว

พารามิเตอร์กระบวนการทั้งหมดถูกควบคุมผ่านหน้าจอสัมผัส PLC สูตรการทำงานจะจัดเก็บค่าความตึง ความเร็ว และอุณหภูมิ ซึ่งผู้ปฏิบัติงานสามารถเรียกใช้หรือปรับเปลี่ยนได้โดยตรง การเปลี่ยนระหว่างประเภทเทปและขนาดเวเฟอร์ใช้เวลาเพียงไม่กี่นาที เหมาะสำหรับการประมวลผลแบบผสมล็อต ระบบล็อคเพื่อความปลอดภัยและวงจรหยุดฉุกเฉินทำงานตลอดวงจรการทำงานทั้งหมด

ตารางเปรียบเทียบประสิทธิภาพกระบวนการ SINTAIKE STK-6020

แอปพลิเคชัน

ระบบการเคลือบเทปนี้ใช้สำหรับติดเทปป้องกันด้านหลังเวเฟอร์เพื่อลดความบางของแผ่นเวเฟอร์ วัสดุที่รองรับได้แก่ ซิลิคอน แกลเลียมอาร์เซนิก และเวเฟอร์ผสมอื่นๆ เหมาะสำหรับสถานีคลีนรูมสำหรับการผลิตในปริมาณน้อยและปานกลาง สายการตรวจสอบกระบวนการ และไซต์ OSAT