บริการอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ปั๊มสุญญากาศ
ซ่อมแซมและสร้างใหม่

บริการซ่อมปั๊มสุญญากาศสำหรับปั๊มแห้งในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และปั๊มเทอร์โบโมเลคูลาร์ การติดขัด การสูบน้ำออกนานเกินไป เสียงผิดปกติ หรือการสั่นสะเทือนที่เพิ่มขึ้น อาจทำให้กระบวนการหยุดชะงักได้ GK-SEMI ช่วยระบุส่วนประกอบของปั๊มที่เสียหาย ซ่อมแซมให้กลับมาใช้งานได้ หรือหาชิ้นส่วนทดแทนที่ตรงกันเมื่อการซ่อมแซมใหม่ไม่สามารถทำได้จริง

การตรวจสอบสารตกค้างจากกระบวนการผลิต
การตรวจสอบโรเตอร์และแบริ่ง
การตรวจสอบประสิทธิภาพที่ตกลงกันไว้
การจัดหาปั๊มสำรอง

ขอบเขตการให้บริการ

ขอบเขตการซ่อมปั๊มสุญญากาศ

ปั๊มแบบแห้งและปั๊มแบบเทอร์โบโมเลคูลาร์ต้องการการตรวจสอบที่แตกต่างกัน ควรเริ่มต้นด้วยการออกแบบปั๊ม สภาพแวดล้อมในการทำงาน และอาการที่ตรวจพบ แทนที่จะใช้การซ่อมบำรุงแบบทั่วไปเพียงอย่างเดียว

Illustrative dry vacuum pump configuration for semiconductor process equipment

ปั๊มแห้งสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

สำหรับปั๊มแห้งแบบสกรู แบบก้ามปู และแบบหลายขั้นตอน ที่มีปัญหาคราบสะสมบนโรเตอร์ การติดขัด เสียงดัง หรือประสิทธิภาพการสูบน้ำลดลง

  • การตรวจสอบสารตกค้างในกระบวนการผลิตและห้องเผาไหม้
  • สภาพของโรเตอร์ ตลับลูกปืน และซีล
  • การตรวจสอบระยะห่างและประสิทธิภาพการสูบน้ำ

ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล

สำหรับปั๊มเทอร์โบที่มีการสั่นสะเทือนผิดปกติ ความผิดพลาดของแบริ่งหรือระบบกันสะเทือน ความผิดพลาดของความเร็ว และอาการที่เกี่ยวข้องกับตัวควบคุม

  • สภาพโรเตอร์และแบริ่ง
  • การตรวจสอบความเร็ว การสั่นสะเทือน และตัวควบคุม
  • การปรับสมดุลโดยผู้เชี่ยวชาญในกรณีที่จำเป็น

ซ่อมแซม สร้างใหม่ หรือจัดหา

เมื่อการกัดกร่อน ความเสียหายของโรเตอร์ หรือความพร้อมของชิ้นส่วน ทำให้การซ่อมแซมเครื่องเดิมไม่คุ้มค่าทางเศรษฐกิจ

  • ความเป็นไปได้และขอบเขตของการซ่อมแซม
  • การจัดหาปั๊มน้ำที่ได้รับการปรับปรุงใหม่ที่เข้ากันได้
  • การจับคู่รุ่น การเชื่อมต่อ และการใช้งาน

การรับประกันทางวิศวกรรม

รักษาปั๊มของคุณให้อยู่ในสภาพพร้อมใช้งาน

การตรวจสอบทางเทคนิคจะช่วยลดความเสี่ยงในการจ่ายเงินสำหรับการซ่อมแซมใหญ่ที่ไม่สามารถทำให้ปั๊มทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือ เราเชื่อมโยงเส้นทางการซ่อมแซมเข้ากับกระบวนการใช้งานดั้งเดิม

01 การตรวจสอบที่คำนึงถึงกระบวนการ

คราบสะสมจากกระบวนการผลิต การสัมผัสกับก๊าซ และประวัติการบำรุงรักษาล้วนมีความสำคัญ เราจะตรวจสอบสื่อที่แจ้งไว้ก่อนที่จะแนะนำการทำความสะอาด การตรวจสอบ และการซ่อมแซมชิ้นส่วนที่เหมาะสม

02 การตรวจสอบประสิทธิภาพที่เกี่ยวข้อง

การตรวจสอบหลังการซ่อมครอบคลุมถึงสภาพการทำงาน ประสิทธิภาพแรงดัน และความสมบูรณ์ของการรั่วซึมตามการออกแบบปั๊มและขอบเขตการซ่อม หลังจากติดตั้งใหม่แล้ว การทดสอบการสูบน้ำออกจากระบบจะยืนยันประสิทธิภาพร่วมกับห้องและท่อสุญญากาศที่เชื่อมต่ออยู่

03 ตัวเลือกการกู้คืนที่ตรงกัน

หากความเสียหายของโครงสร้างใบพัดหรือชิ้นส่วนที่หาไม่ได้ทำให้การซ่อมแซมไม่คุ้มค่า ก็สามารถพิจารณาหาอุปกรณ์มือสองหรืออุปกรณ์ที่ได้รับการปรับปรุงใหม่ที่เข้ากันได้ รวมถึงการจัดหาชิ้นส่วนอะไหล่ได้เช่นกัน

มาตรฐานทางวิศวกรรม

ตั้งแต่การตรวจสอบจนถึงการส่งคืน

ขั้นตอนการซ่อมที่ใช้งานได้จริงจะบันทึกสภาพของปั๊มที่เกิดขึ้นจริง เลือกชิ้นส่วนที่ต้องซ่อมที่เหมาะสม และแยกการตรวจสอบบนแท่นทดสอบออกจากการทำงานของระบบขั้นสุดท้าย

01

การตรวจสอบกระบวนการและความปลอดภัย

เปิดเผยข้อมูลเกี่ยวกับก๊าซที่สูบและสารตกค้างจากกระบวนการผลิต การจัดการ การกำจัดสิ่งปนเปื้อน และการขนส่งอย่างปลอดภัยจะต้องได้รับการยืนยันก่อนที่ปั๊มจะเข้าสู่กระบวนการซ่อม

02

การตรวจสอบส่วนประกอบ

ตรวจสอบห้องโรเตอร์ ตลับลูกปืน ซีล ส่วนต่อประสานการขับเคลื่อนและการควบคุมตามการออกแบบของปั๊ม ระบุความเสียหายที่ซ่อมแซมได้และซ่อมแซมไม่ได้

03

การซ่อมแซมและประกอบใหม่แบบเฉพาะเจาะจง

ซ่อมแซมชิ้นส่วนที่ยังใช้งานได้และเปลี่ยนชิ้นส่วนที่สึกหรอเสียหายตามที่ตกลงกันไว้ การซ่อมปั๊มแห้งและการซ่อมปั๊มเทอร์โบมีขั้นตอนที่แตกต่างกัน

04

การตรวจสอบและการส่งคืน

ดำเนินการตรวจสอบการทำงานและแรงดันตามที่ตกลงกันไว้เท่าที่จะเป็นไปได้ จากนั้นแจ้งสิ่งที่ได้ทำการทดสอบแล้วและสิ่งที่ยังต้องได้รับการยืนยันเพิ่มเติมเกี่ยวกับเครื่องมือ

Illustrative semiconductor process dry vacuum pump opened for internal component inspection on a service bench
การตรวจสอบภายในปั๊มแห้ง
ใบสั่งงานซ่อม

การกู้คืนปั๊มแห้งที่ยึดไว้

เครื่องมือสำหรับกระบวนการกัดกรดในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ปั๊มเกิดการขัดข้องอย่างสมบูรณ์ระหว่างการทำงาน ซึ่งอาจส่งผลกระทบต่อผลผลิต

คำแนะนำจากผู้ผลิต (OEM): ชุดอุปกรณ์ทดแทนครบชุด (ระยะเวลารอสินค้า 3 เดือน)
01
การวินิจฉัยเบื้องต้น

การตรวจสอบโดยการถอดชิ้นส่วนเผยให้เห็นการสะสมของฝุ่นโพลีเมอร์และซิลิคอนอย่างรุนแรง ซึ่งอุดช่องว่างระหว่างใบพัด ทำให้เกิดแรงเสียดทานทางกล สิ่งที่สำคัญคือ พื้นผิวของใบพัดยังคงสภาพสมบูรณ์และใช้งานได้

02
การดำเนินการที่ตรงเป้าหมาย

ดำเนินการขจัดคราบเขม่าทางเคมีภายในห้องเผาไหม้อย่างสมบูรณ์ ตรวจสอบระยะห่างทางกล และเปลี่ยนซีลยางที่เสื่อมสภาพแล้ว ไม่จำเป็นต้องทำการกลึงโรเตอร์

03
การตรวจสอบและการส่งคืน

ผ่านการทดสอบบนแท่นทดสอบเพื่อการฟื้นฟูแรงดันสูงสุด การตรวจสอบการรั่วไหลของฮีเลียมยืนยันความสมบูรณ์ของซีลก่อนส่งคืนหน่วยเดิมสู่กระบวนการผลิต

อัตราการรั่วไหลของฮีเลียม < 1x10⁻⁷Pa·m³/s
แรงดันฐาน บูรณะแล้ว

ก่อนที่คุณจะจัดส่ง

คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับการซ่อมปั๊มสุญญากาศ

คำตอบที่ชัดเจนเกี่ยวกับสารตกค้างจากกระบวนการผลิต ข้อจำกัดในการซ่อมแซม และทางเลือกในการจัดหาวัสดุทดแทน

ปั๊มน้ำที่แห้งและติดขัดสามารถซ่อมแซมให้กลับมาใช้งานได้หรือไม่?

โดยทั่วไป หากพื้นผิวของตัวเรือนและโรเตอร์ยังอยู่ในสภาพใช้งานได้ เราจะตรวจสอบคราบสะสม ความเสียหายของแบริ่ง และระยะห่างทางกลก่อนที่จะตัดสินใจว่าจะทำความสะอาด ซ่อมแซมเฉพาะจุด หรือเปลี่ยนใหม่

คุณตรวจสอบประสิทธิภาพหลังการซ่อมแซมอย่างไร?

การตรวจสอบจะถูกเลือกตามการออกแบบปั๊มและชุดทดสอบที่มีอยู่ ซึ่งอาจรวมถึงการทำงานเชิงกล แรงดันสูงสุด หรือการประเมินการรั่วไหล เราแยกความแตกต่างระหว่างผลการสังเกตบนโต๊ะทำงานกับผลลัพธ์จากการทดสอบการสูบจ่ายบนเครื่องมือของลูกค้า

จะทำอย่างไรหากโรเตอร์หรือตัวเรือนเสียหายอย่างหนัก?

รอยขีดข่วนลึก การกัดกร่อน หรือความเสียหายทางโครงสร้าง อาจทำให้การซ่อมแซมไม่คุ้มค่า เราจะอธิบายถึงข้อจำกัดและให้การสนับสนุนในการจัดหาชิ้นส่วนทดแทนที่ตรงกันหรืออะไหล่ที่เกี่ยวข้อง

คุณรองรับปั๊มแบบแห้งและปั๊มเทอร์โบหรือไม่?

ใช่ค่ะ ทั้งสองประเภทสามารถตรวจสอบได้ แต่ขอบเขตการให้บริการจะแตกต่างกันอย่างมาก กรุณาส่งข้อมูลผู้ผลิต รุ่น รายละเอียดของตัวควบคุม และประวัติการเกิดปัญหา เพื่อให้เราสามารถยืนยันแนวทางที่เหมาะสมได้

แล้วถ้าปั๊มนั้นใช้กับก๊าซพิษหรือก๊าซกัดกร่อนล่ะ?

แจ้งข้อมูลเกี่ยวกับก๊าซที่เกิดขึ้นในกระบวนการผลิต สารตกค้าง และสถานะการกำจัดสิ่งปนเปื้อนก่อนการจัดส่ง คำแนะนำในการจัดการและการบรรจุอย่างปลอดภัยขึ้นอยู่กับระดับการสัมผัสจริง ปั๊มที่ปนเปื้อนซึ่งไม่ได้แจ้งไว้จะต้องไม่ถูกจัดส่ง

การซ่อมปั๊มสุญญากาศใช้เวลานานแค่ไหน?

ระยะเวลาขึ้นอยู่กับการออกแบบปั๊ม ผลการตรวจสอบ ชิ้นส่วนอะไหล่ และการทดสอบที่จำเป็น เราจะยืนยันกำหนดการโดยประมาณสำหรับปั๊มแต่ละเครื่องโดยเฉพาะ แทนที่จะโฆษณาถึงระยะเวลาดำเนินการที่ตายตัวสำหรับทุกเครื่อง

คุณสามารถจัดหาปั๊มทดแทนที่ใช้งานร่วมกันได้หรือไม่?

เราสามารถตรวจสอบแหล่งจัดหาอุปกรณ์มือสองหรืออุปกรณ์ปรับปรุงใหม่ได้โดยระบุรุ่นที่แน่นอน แหล่งจ่ายไฟ การเชื่อมต่อทางเข้าและทางออก อินเทอร์เฟซควบคุม และการใช้งานในกระบวนการผลิต การตรวจสอบความพร้อมใช้งานจะดำเนินการแยกต่างหาก

ฉันควรส่งอะไรไปบ้างสำหรับการตรวจสอบเบื้องต้น?

โปรดระบุฉลากปั๊ม รุ่น รหัสข้อผิดพลาด อาการผิดปกติขณะใช้งานล่าสุด สารที่ใช้ในกระบวนการ และประวัติความดันหรือการสั่นสะเทือน (ถ้ามี) ภาพถ่ายจะมีประโยชน์แม้ก่อนที่จะมีรายงานโดยละเอียด

ขั้นตอนต่อไป

ต้องการซ่อมปั๊มสุญญากาศใช่ไหม?

โปรดแจ้งรุ่นของปั๊ม สารที่ใช้ในกระบวนการ และอาการผิดปกติ วิศวกรของเราจะทำการประเมินและวางแผนการแก้ไขปัญหาอย่างชัดเจน

ติดต่อ GK-SEMI ออนไลน์ ↗