Cấy ion liều cao đóng vai trò trung tâm trong việc hình thành các vùng nguồn/thoát và pha tạp polysilicon trong sản xuất chất bán dẫn. Máy SEN 10GSD-A-160 thuộc loại máy cấy ion dòng điện cao, được ứng dụng trong các quy trình chế tạo wafer hiện có liên quan đến các chất pha tạp như boron, phốt pho và asen.
Đối với loại thiết bị này, độ ổn định của chùm tia và góc cấy ghép ảnh hưởng trực tiếp đến vị trí đặt chất pha tạp và tính nhất quán của cấu hình. Trạm cuối quay theo lô cho phép kiểm soát hướng của tấm wafer trong quá trình cấy ghép, giúp quản lý các hiệu ứng tạo kênh. Kích thước wafer, điều kiện chùm tia hiện có và cấu hình trạm cuối quyết định cách thiết bị phù hợp với quy trình sản xuất cụ thể.
Các thiết bị bán dẫn công suất, linh kiện rời rạc và cảm biến là những lĩnh vực ứng dụng tiềm năng, nơi các điều kiện cấy ghép cần thiết phù hợp với cấu hình của máy. Trước khi tích hợp máy SEN 10GSD-A-160 đã qua sử dụng vào sản xuất, cần kiểm tra các tùy chọn đã cài đặt và điều kiện hoạt động của máy so với quy trình mục tiêu.
Thông số kỹ thuật chính của SEN 10GSD-A-160
| Nhà sản xuất | SEN / Sumitomo Eaton Nova |
|---|---|
| Người mẫu | 10GSD-A-160 |
| Loại thiết bị | Máy cấy ion dòng điện cao |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | 150 mm và 200 mm, theo danh sách thiết bị hiện có. |
| Cấy ghép dòng điện | Dòng điện cao |
| Phạm vi năng lượng cấy ghép | Cần phải xác nhận từ cấu hình điện áp cao và đường truyền chùm tia đã lắp đặt. |
| Nguồn ion | Loại nguồn, các thành phần đầu nguồn và các loài được chấp thuận phải được xác minh. |
| Trạm cuối wafer | Cần xác nhận cấu hình ổ đĩa đã lắp đặt, hệ thống làm mát và góc cấy ghép. |
| Kiểm soát liều lượng | Cần kiểm tra tình trạng lắp đặt Faraday, bộ điều khiển liều lượng và trạng thái hiệu chuẩn. |
| Khí công nghiệp | Hộp khí, MFC, thiết bị an toàn và đường dẫn chất pha tạp khác nhau tùy thuộc vào từng loại máy. |
| Hệ thống điều khiển | Cần phải xác nhận phần cứng bộ điều khiển, phần mềm vận hành và cơ sở dữ liệu công thức. |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
