Implantasi dos tinggi memainkan peranan penting dalam membentuk kawasan sumber/saliran dan pendopan polisilikon dalam pembuatan semikonduktor. SEN 10GSD-A-160 tergolong dalam kategori implanter ion arus tinggi, dengan aplikasi dalam proses fabrikasi wafer yang mantap yang melibatkan dopan seperti boron, fosforus dan arsenik.
Bagi kelas peralatan ini, kestabilan rasuk dan sudut implan secara langsung mempengaruhi penempatan dopan dan konsistensi profil. Stesen hujung putar kelompok membolehkan orientasi wafer dikawal semasa implantasi, membantu mengurus kesan penyaluran. Saiz wafer, keadaan rasuk yang tersedia dan konfigurasi stesen hujung menentukan bagaimana alat tersebut sesuai dengan aliran pengeluaran tertentu.
Peranti semikonduktor kuasa, komponen diskret dan sensor merupakan bidang aplikasi yang berpotensi di mana keadaan implan yang diperlukan sepadan dengan konfigurasi mesin. Sebelum mengintegrasikan SEN 10GSD-A-160 terpakai ke dalam pengeluaran, pilihan yang dipasang dan keadaan operasinya hendaklah disemak terhadap proses sasaran.
Spesifikasi Utama SEN 10GSD-A-160
| Pengilang | SEN / Sumitomo Eaton Nova |
|---|---|
| Model | 10GSD-A-160 |
| Jenis Peralatan | Implan Ion Arus Tinggi |
| Saiz Wafer yang Disokong | 150 mm dan 200 mm, mengikut senarai peralatan yang tersedia |
| Kelas Arus Implan | Arus tinggi |
| Julat Tenaga Implan | Mesti disahkan daripada konfigurasi voltan tinggi dan beamline yang dipasang |
| Sumber Ion | Jenis sumber, komponen kepala sumber dan spesies yang diluluskan mesti disahkan |
| Stesen Wafer End | Cakera yang dipasang, konfigurasi penyejukan dan sudut implan mesti disahkan |
| Kawalan Dos | Faraday yang dipasang, pengawal dos dan status penentukuran mesti diperiksa |
| Gas Proses | Kotak gas, MFC, peralatan keselamatan dan talian dopan berbeza mengikut mesin |
| Sistem Kawalan | Perkakasan pengawal, perisian pengendalian dan pangkalan data resipi mesti disahkan |
| Keadaan | Peralatan semikonduktor terpakai |
| Ketersediaan | Tertakluk kepada stok semasa, pemeriksaan dan pengesahan konfigurasi |
