コンポーネントレベルのアームの機械的オーバーホール
摩耗したハーモニックリデューサー、ベアリング、ベルト、シールを修理することで、新品の純正部品一式を購入することなく、アームの動きを回復させることができます。
GK-SEMI · 半導体製造装置ロボットアームおよびローダーアームの修理
半導体製造装置用ロボットアームおよびトランスファーアームの修理
当社は、半導体パッケージング、組立、ウェーハ処理装置で使用されるロボットアーム、ウェーハ搬送アーム、ピックアンドプレースハンドリングアームの修理を専門としています。
当社では、メカニカルアームのオーバーホール、ハーモニックドライブギアセット、精密ベアリング、タイミングベルト、サーボモーター、エンコーダー、エンドエフェクターなどの修理を専門としています。ASMおよびK&S製パッケージングツールのウェーハローダー／アンローダーアームに加え、Brooks、Rorze、Yaskawa製の常圧および真空ウェーハ搬送アームの修理も承っております。
アームのラベル、親機器のモデル、および障害アラームを送信して、24時間対応のリモートレビューを開始してください。
駅の教育基準と動的テスト
アームの水平度、Z軸の垂直度、ゼロ点再現性、および複数時間にわたるサイクルテストは、当社の診断ベンチで検証済みです。
旧式装備武器の部品サポート
旧型ASM、K&S、BESI、DISCO、およびウェハー搬送アームの修理・交換部品を、OEMの納期が長い場合でも提供しています。
修理対象
機器：ロボットアーム、ローダーアーム、ハンドリング機構
半導体製造装置のフロントエンドおよびバックエンドに搭載されている、取り外し可能なロボットアーム、搬送リンク機構、精密ハンドリングアセンブリの専用修理サービス。
ウェハーローダーおよびアンローダーアーム（ASM、K&S、DISCO製）
パッケージング装置およびダイシング装置のカセット搬送アーム、リードフレームインデクサアーム、ウェハーエレベーターアーム、およびマガジンプッシュ/プル機構のオーバーホール。
ウェハ搬送アーム（SCARAおよびフロッグレッグリンク機構）
大気圧式EFEMトランスファーアームおよび真空クラスターチャンバーアームの機械的再構築。ジョイントの緩み、ベルトの摩耗、および垂れ下がりを解消する。
アームジョイント、ハーモニック減速機、およびドライブ
ハーモニックドライブギアセット、クロスローラーベアリング、フェロフルイディックロータリーシール、ボールねじ、タイミングベルトテンショナーの精密交換。
アームエンドエフェクター、パドル、グリッパー
セラミック/PEEKウェハーハンドリングブレード、ベルヌーイワンド、ダイピックアンドプレーススイングコレット、真空ライン、および存在センサーの改修。
アームホーミング失敗
配置オフセット／位置ずれ
アーム軸の振動とバックラッシュ
ウェハー／ダイピックアップ不良
ローダーアームの詰まり
腕関節ベルトのずれ
アーム回転シール真空漏れ
エンコーダ信号エラー
当社が解決する一般的な半導体ロボットアームの不具合
パッケージングハンドラーアーム（ASM / K&S）およびウェハートランスファーアームのカバー| 報告された機器の症状／アラーム | 影響を受けるアームアセンブリ／機構 | 典型的な根本原因 | 標準的なGK-SEMI修理手順 |
|---|---|---|---|
| ウェハーローダーアームのホーミング失敗／軸アラーム | ASM / K&S カセットローダー＆インデクサーアーム | 光学式ホームセンサーの故障、エンコーダーの劣化、またはタイミングベルトの歯の摩耗 | 光学エンコーダまたはセンサーを交換し、タイミングベルト駆動部を再構築し、アームのゼロ基準を再確立する。 |
| ピックアンドプレーススイングアーム配置オフセット/ジッター | ASM AD838 / K&S ダイアタッチ＆ボンドアーム | 精密ジョイントベアリングの遊び、リニア/ロータリーアクチュエータコイルの疲労、またはクランプの緩み | 精密ベアリングピボットを再構築し、駆動リンクを再張力調整し、動的配置再現性を較正する。 |
| トランスファーアームエンドエフェクタの垂れ下がり／ステーションのずれ | SCARAおよびフロッグレッグ型ウェハ搬送アーム（R/Theta） | ハーモニック減速機のギア摩耗、内部アームベルトの伸び、またはピボットベアリングのバックラッシュ | ハーモニックドライブギアセットを交換し、新しいテンションスチールベルト／タイミングベルトを取り付け、アームの水平を確認します。 |
| ウェハーの落下、真空圧力の低下、またはブレードの振動 | セラミック/クォーツウェハーブレードと真空ワンド | 真空シールパッドの摩耗、ブレードの微細な亀裂、またはアーム内部の空気圧チューブの詰まり | 空気圧通路を再シールし、真空吸引パッドを交換し、ブレードの平面性を検査し、流量テストを実施する。 |
対応しているArmブランドおよび機器プラットフォーム
当社がサービスを提供する半導体製造装置用ロボットアームのモデル
当社は、半導体パッケージング装置（ASM、K&S、BESI、DISCO）およびウェーハ搬送システム（Brooks、Rorze、Yaskawa、Daihen、Kawasaki、JEL）のロボットアームおよびハンドリングリンクの修理を行っています。
ボンダーおよびワイヤボンダーのハンドリングアーム
ASMアーム修理の見積もり
ASM（ASMPT）ロボットアーム
ワイヤボンディングおよびパッケージングハンドラーアーム
K&Sアーム修理の見積もり
K&S（Everything & Sofa）ロボットアーム
高度な包装およびダイシングアーム
BESI / DISCO アーム修理の見積もり
BESI、DISCO、ESECの武器
真空・大気圧移送アーム
ブルックスアーム修理の見積もり
ブルックス・オートメーション製トランスファーアーム
EFEMおよびソーターデュアルアームシステム
Rorze / Yaskawa アーム修理の見積もり
ロルゼ＆ヤスカワウェハーアーム
サーマルアーム、トラックアーム、クリーンルームアーム
ウェハハンドラーアームの修理見積もり
Daihen, Kawasaki, JEL & Sankyo
特定の部品番号のアームの修理が必要ですか？アーム本体またはジョイントハウジングの銘板の写真を送っていただければ、直接照合して技術的な確認を行います。
GK-SEMIを選ぶ理由
半導体ロボットアームの修理は、機械およびサーボに関する専門知識に裏打ちされています。
装置のアームに不具合が生じた場合、アセンブリ全体を交換すると費用がかさみ、納期も数ヶ月かかることがあります。当社では、摩耗した減速機、ベアリング、ベルト、シールなどを交換し、サーボの精密な位置合わせを復元するなど、部品レベルでメカニカルアームをオーバーホールします。
-
アームの機械的再構築とサーボ調整を同時に行う
アームのピボットベアリング、ハーモニックドライブ、駆動ベルト、サーボモーター、エンコーダーは、完全なモーションシステムとして評価されます。
-
アーム構成に合わせたベンチテスト
関節のバックラッシュ、ストローク制限、ホーミング再現性、および真空吸引力は、専用のアーム試験治具を使用して検証されます。
-
修理＋スペアパーツ＋交換用アームバックアップ
旧式のアームやひどく損傷した鋳造部品については、当社の中古市場在庫からテスト済みの交換用サブアセンブリをご提供いたします。
-
修理範囲、所要時間、保証内容を明確にする
すべての見積書には、交換する機械部品の詳細、校正基準、納期、保証条件が事前に明記されています。
標準的な5ステップ半導体製造装置ロボットアーム修理ワークフロー
ステップ01
リモートアームのレビュー
銘板の写真、アームの部品番号、および警報コードを確認し、機械的および電気的な故障範囲を特定します。
ステップ02
ベンチの解体と見積もり
アームジョイントのバックラッシュ、ベアリングの遊び、ベルトの摩耗、エンコーダーのフィードバックを測定し、項目別の固定見積もりを作成します。
ステップ03
コンポーネントレベルの全面的な見直し
摩耗したハーモニックギアセット、クロスローラーベアリング、タイミングベルト、真空シール、サーボフィードバックセンサーを交換してください。
ステップ04
アーム基準点校正
機械的な原点復帰を行い、アームの同一平面性とブレードの水平性を確認し、連続サイクルテストを実行します。
ステップ05
ビデオサインオフ＆返却
クリーンな梱包を行う前に、アームのスムーズな動作を示すテストビデオ、検査チェックリスト、および保証書を提供してください。
テストおよび修理に関するドキュメント
修理された腕。作業完了。検査結果。
アーム修理の検証は、報告された装置アラームと、必要な正確なウェーハ搬送またはボンディング動作に基づいて合意される。
修理作業はお客様のシリアル番号アームに紐づいています
機器のモデル、アームの部品番号、ハードウェアのリビジョン、および報告されたアラームによって、修理対象のユニットが特定されます。交換されたベアリング、ギア、ベルト、またはシールはすべて記録されます。
修理したアームの機能チェック
適用可能なベンチテスト項目には、スムーズな伸長／収縮、再現性のある原点復帰、ジョイントのバックラッシュ除去、真空吸着保持、および多軸サイクル動作が含まれます。
エンジニアリングチームのためのテスト証拠
アームテストの結果、キャリブレーションチェックリスト、および動作ビデオを確認し、返却承認を得るとともに、最終的なオンツールステーションでの再指導に関する明確な指示を提供する。
アーム分解レポート（受信）
報告されたアラームに対して、ジョイントの摩耗測定値、ハーモニックギアバックラッシュ、ベルトの伸び、エンコーダ信号の完全性などの詳細を確認しました。
アームの位置合わせと基準点の確認
アームの水平度、ブレードの同一平面性、ホームゼロオフセット値、ジョイントのバックラッシュ許容値、および真空漏れ減衰率を文書化する。
腕のサイクルテスト動画
返品前に、当社のテスト治具上で、アームのスムーズで振動のない伸長、格納、およびピックアンドプレース動作をビデオで確認します。
完了した修理プロジェクト
半導体製造装置のアーム修理の実践例。
ASMのダイ/ワイヤボンダーローダーアーム、K&Sのパッケージングハンドラーアーム、およびウェーハ搬送アームにおける代表的なサービスプロジェクト。
ASM包装機器・AD838 / Eagle / MS90シリーズ
同様のASMアーム修理の見積もり
ASMウェハーローダーアームおよびピックアンドプレースアームのオーバーホール
報告された不具合
ウェハローダーアームのホーミング不良、ピックアンドプレース用スイングアームの振動、および繰り返し発生する位置決めずれアラーム。
完了した作業
精密アームのピボットベアリングとタイミングベルトを交換し、リニア／ロータリーエンコーダのフィードバック機構を再構築し、ホームゼロ基準を再調整しました。
検証結果
ベンチ耐久試験において、滑らかで高速なアームスイング動作と、再現性の高い金型ピックアンドプレース動作が回復した。
K&S Equipment · ICONN / Maxum Plus / 8028PPSシリーズ
K&Sアームの同様の修理の見積もり
K&Sマテリアルハンドリングアーム＆インデクサリンケージ修理
報告された不具合
基板送り込み中に、マガジンローダーアームの詰まり、インデクサアームの位置ずれ、サーボ追従エラーアラームが発生する。
完了した作業
アームのリニアガイドウェイをオーバーホールし、摩耗した駆動ベルトとリードフレームクランパーベアリングを交換し、サーボモーターのフィードバックを調整した。
検証結果
機械的な詰まりを解消し、負荷がかかった状態でも連続的かつ詰まりのないリードフレーム転送サイクルを確認した。
ウェハ搬送アーム · Brooks / Rorze / DISCO / Yaskawa
同様のトランスファーアームの故障について引用する
ウェハ搬送アーム、高調波低減器、ジョイントの再構築
報告された不具合
カセット移送時のR/Thetaアーム伸展オフセット、ジョイントバックラッシュ、およびセラミックブレード真空グリップの落下。
完了した作業
ハーモニックドライブギアセットを交換し、新しいジョイントベアリングと真空シールを取り付け、内部ベルトの張力を調整し、セラミックブレードラインのシールをやり直しました。
検証結果
真空減衰試験および数時間にわたる連続転送サイクル試験に合格し、位置ドリフトはゼロでした。
同様の半導体製造装置のアーム障害が発生しましたか？
迅速な修理評価のため、アームの部品番号、親機の機種名、およびアラーム記録をお送りください。
どのような半導体製造装置用ロボットアームの修理を行っていますか？
当社は、半導体パッケージング装置におけるロボットアームとハンドリングリンクの修理を行っています。 ASM（ASMPT AD838、AD830、Eagle、AB339、AMICRA、MS90）, K&S（Kulicke & Soffa ICONN、Maxum Plus、ConnX、8028PPS、APAMA）, 鉄、 そして ディスコ―また、ウェーハ搬送アームから Brooks Automation, Rorze, Yaskawa, Daihen, Kawasaki, JEL, and Sankyo.
機械全体を輸送する必要がありますか、それともロボットアームだけで良いですか？
取り外し可能なロボットアームまたはハンドリングアセンブリのみをお送りください。ウェハーローダーアーム、スイングピックアンドプレースアーム、トランスファーリンケージ、またはハーモニックドライブモジュールのいずれをお持ちかをお知らせください。弊社の技術チームが、出荷前にベンチテストに必要なケーブルやアクセサリを確認いたします。
ユニットを受け取る前に、アームの不具合を確認して見積もりを出していただけますか？
はい。アームの部品番号、銘板の写真、親機器の型番、アラームコード、および動作の様子を撮影した短い動画をお送りください。弊社の2交代制オンラインサポートチームが、発送前に初期故障診断と修理費用の概算をお知らせいたします。
機械が故障しました。アームの緊急修理、もしくは交換用アームの提供は可能でしょうか？
お問い合わせの際は、生産停止期間と目標復帰日をお知らせください。部品の在庫状況と照らし合わせて、優先的な緊急対応スケジュールを検討いたします。修理が間に合わない場合は、互換性のある交換用アームやアセンブリを中古市場の在庫から確認いたします。
腕の修理には、どのような機能テストと保証が含まれていますか？
すべての見積書には、ベンチテスト、バックラッシュ測定、ストローク再現性チェック、ビデオ記録、および保証条件が明記されています。アームを機械に再取り付けした後に必要となる再ティーチングや微調整についても、明確に説明されています。
旧式の半導体アームの交換部品も供給できますか？
はい。古いアームの鋳造部品が破損していたり、OEMサポートのない旧式の内部ギアが使用されている場合でも、当社の二次市場ネットワークと精密機械加工リソースを活用して、互換性のある交換部品を調達または製造することができます。
ロボットアーム修理の見積もりを依頼する
ラベルを送ってください。
ラベルを送ってください。
何が失敗したのか教えてください。
半導体製造装置のロボットアーム、ウェハーローダーアーム、および搬送リンク機構の修理については、GK-SEMIまでお問い合わせください。機械が停止している場合は、ご希望の返却日をお知らせください。
- ロボットアーム／アセンブリの製造元、モデル、および部品番号
- 親機モデル（例：ASM AD838、K&S ICONN、Brooks MAG7、Rorze）
- 故障症状、アラームコード、スクリーンショット、または動作ビデオ
- 現在の工場所在地と必要な返却日
WhatsApp · GK-SEMI
+86 134 8091 2606
半導体
ロボットアームの修理 修理見積もりを取得する↗
ロボットアームの修理 修理見積もりを取得する↗