O₂またはAr ― それぞれ異なる役割を担う
酸素は化学酸化によって有機残留物を除去する。アルゴンは物理的なイオン衝撃によって自然酸化膜を除去する。これらは互換性がない。
プラズマ洗浄装置
中古プラズマ洗浄機
当社では、March、Diener、Plasma Etch、PVA TePlaなどのメーカーのプラズマクリーナー（バッチ式真空、自動ストリップ、ウェハーレベル）を取り扱っています。表面活性化、デスカム除去、酸化膜除去など、様々な用途に対応可能です。お客様のラインに最適な装置は、製品形状、ガス組成、チャンバー形状、そして必要な処理均一性の4つの要素によって決まります。中古プラズマクリーナーの購入で失敗に終わるケースの多くは、これらの4つの要素のいずれかに問題があるためです。例えば、機種は合致していても、実際に部品を投入した際にチャンバーが対応できなかったり、ガス組成がお客様の求める表面処理方法に合わなかったりといったケースです。お客様のご要望をお聞かせいただければ、お客様のラインで実際に機能するシステムを厳選してご提案いたします。
部品数の変化がプラズマ密度に影響を与える
反応性物質の濃度は、負荷される表面積の総量に応じて変化する。単一の試験片で開発されたレシピは、フルバッチに直線的にスケールアップすることはできない。
電力密度が公称ワット数を上回る
同じRF出力を小さなチャンバー全体に照射した場合と、同じ出力を大きなチャンバー全体に照射した場合では、表面との相互作用は全く異なるものになる。
プロセス上の問題から始める
プラズマ治療後はどうなるのか？
プラズマ洗浄機を注文したお客様が、粒子の問題を解決できると期待していたにもかかわらず、機械が有機残留物は除去できるものの粒子には効果がなく、湿式洗浄工程が必要になるというケースをよく目にします。ほとんどのお客様は、接着、濡れ性、または付着性の問題が発生した後にプラズマ洗浄機を探し始めます。装置を絞り込む最も迅速な方法は、製品、疑われる表面状態、および次の工程を特定することです。
部品がウェハー、ストリップ、リードフレーム、基板、またはパッケージ化されたデバイスのいずれであるか、また、ダイアタッチ、ワイヤボンディング、アンダーフィル、モールド成形、またはコーティングの前に処理が必要かどうかをお知らせください。
プラズマ処理は特定の有機汚染物質を除去し、表面エネルギーを増加させることができるが、粒子除去、イオン洗浄、または重度の残留物を含む湿式洗浄の万能な代替手段ではない。
弱いまたは不安定な結合
パッド、リードフレーム、または基板の汚染が接着性やプロセスの一貫性に影響を与える可能性がある場合は、ダイアタッチまたはワイヤボンディングの前にプラズマ洗浄を確認してください。有機物除去には通常酸素プラズマが使用され、金属ボンディングパッド上の酸化物還元にはアルゴンが使用されます。
ゆっくりとした下地充填または接着剤の濡れ
表面活性化は、濡れ性の悪さが表面エネルギーや有機残留物に起因する場合に、下地充填材、接着剤、またはコーティングの均一な広がりを促進するのに役立つ可能性があります。ここでは充填量の影響が重要であり、ある部品でうまくいった配合でも、バッチ全体では調整が必要になる場合があります。
剥離またはカプセル化のリスク
パッケージ表面と保護材との密着性を向上させる必要がある場合は、成形または封止前にプラズマ処理の効果を評価してください。プラズマ源が露出したワイヤボンディングや繊細な構造を損傷しないことを確認してください。
ウェハーレベル表面処理
ウェハおよびパネルのプロセスについては、デバイスの感度、搬送方法、均一性、および必要な処理が実際のプラズマプラットフォームと互換性があるかどうかを確認してください。エッジとセンターの処理は一致させる必要があります。高アスペクト比のパターンでは、シャドウイングがよく発生します。
利用可能な機器
中古プラズマ洗浄機販売中
同じ型番のプラズマ洗浄機でも、性能は大きく異なる場合があります。設置されているチャンバーのサイズ、RF発生器、電極配置、ガス分配器、および搬送システムなどが、機種名よりも重要な要素となります。まずは現在の在庫状況をご確認の上、お客様のプロセス要件をお送りください。構成チェックを実施いたします。
特定の真空プラズマクリーナー、自動ストリップシステム、またはウェハーレベルプラットフォームが必要ですか？メーカー名、型番、製品形式、希望する状態をお知らせいただければ、在庫状況を的確に確認いたします。
Nordson MARCH AP-600 プラズマ洗浄システム
Nordson MARCH AP-600 プラズマ洗浄システム。卓上型バッチ式ユニット。半導体基板、パッケージなどの乾式処理。
PVA TePla IoN 200 プラズマクリーナー
PVA TePla IoN 200 RFプラズマシステム。200mmウェハおよび大型基板に対応。ドライクリーニングにより有機物や酸化物を除去します。
Nordson MARCH AP-300 プラズマ洗浄システム
Nordson MARCH AP-300 プラズマ洗浄システム。卓上型バッチユニット、13.56 MHz RF、自動インピーダンスマッチング機能付き、最大 7 台の調整可能...
パナソニック PSX307 プラズマクリーニングシステム
パナソニックPSX307は、平行平板プラズマを用いて基板やウェハを洗浄します。Ar、O₂、または混合ガスに対応。リフトユニットは薄膜ウェハにも対応します。
機器ルート
バッチ式、自動ストリップ式、それともウェハーレベルプラズマ式？
機械の経路は、製品搬送装置、生産量、および必要な表面処理に適合している必要があります。プラズマ仕様が類似している装置であっても、チャンバーや搬送システムが実際の製品流量に対応できない場合は、不適切となる可能性があります。
01フレキシブルバッチ式真空プラズマクリーナー
+
バッチ式真空システムは、トレイ、ラック、キャリア、リードフレーム、パッケージ、またはウェハーを使用して、混合製品、プロセス開発、および少量から中量生産をサポートします。
確認する： チャンバー容積、電極配置、装填治具、プラズマ源、ガス流路、ポンプ、およびレシピ制御。
02自動ストリップ式またはマガジン式プラズマシステム
+
自動化されたストリップおよびマガジンシステムは、ハンドリング、レシピ制御、トレーサビリティが生産ラインの一部となっている、再現性の高い半導体後工程生産向けに設計されています。
確認する： ストリップの寸法、マガジンタイプ、転送方向、サイクルターゲット、通信プロトコル、およびローダー/アンローダー構成。
03インライン基板またはPCBプラズマクリーナー
+
インラインシステムは、生産フローを中断することなく、コーティング、接着、または塗布工程の前に基板や電子アセンブリを処理できます。
確認する： パネル寸法、コンベア高さ、処理均一性、ライン速度、製品クリアランス、および上流/下流インターフェース。
04ウェハおよびウェハレベルパッケージングプラットフォーム
+
ウェハーレベルのシステムでは、ウェハーサイズ、搬送方法、エッジ保護、裏面露光、処理均一性、およびデバイス感度について、より厳密な制御が求められる。
確認する： ウェーハまたはパネルのサイズ、キャリア、ロードポートまたはカセット、プロセス均一性、プラズマモード、および許容されるイオンまたは紫外線照射量。
製品の取り扱い
プラズマクリーナーを製品フォーマットに合わせてください
チャンバーと自動化システムは、実際の製品に適合していなければなりません。プラズマ処理能力だけでは、必要なストリップ、ウェーハ、基板、またはキャリアを処理できるとは限りません。
製品フォーマット典型的な機器の輸送ルート確認すべき事項
リードフレーム、ストリップ、マガジン
IC、ディスクリート部品、電源部品、センサーパッケージ。
バッチ式または自動式ストリッププラズマ
ストリップ幅、マガジンタイプ、ピッチ、電極間隔、製品クリアランス、搬送方向、サイクル時間。
ウェハーおよびウェハーレベルパッケージ
WLP（ウェーハ表面処理）、高度なパッケージング技術、およびウェーハ表面処理技術。
ウェハー／パネルプラズマプラットフォーム
ウェハーまたはパネルのサイズ、キャリア、エッジ保護、均一性、裏面露出、およびデバイスの感度。
基板およびプリント基板アセンブリ
塗布、接着、またはコーティングを行う前の準備。
インライン式またはバッチ式真空プラズマ
パネルの寸法、処理領域、コンベアとのインターフェース、治具、ライン速度、および下流の材料処理プロセス。
混合輸送手段およびプロセス開発
研究開発、資格認定、そして柔軟な生産体制。
フレキシブルバッチ真空システム
ラック設計、サンプルホルダー、レシピの柔軟性、交差汚染防止、ガスオプション、メンテナンスアクセス。
見積もり入力
機器を適合させるために必要なもの
プラズマ処理機を依頼する前に、完成したレシピを用意する必要はありません。有益な検討は、製品、次の工程、そして表面処理によって得られる結果から始めるべきです。
既に入手可能な情報を共有してください。そうすることで、どのチャンバー、ガス経路、プラズマ源、搬送システム、自動化の詳細について確認が必要かを特定できます。
製品および積載形式
ウェーハ、ストリップ、リードフレーム、基板、パネル、キャリア、マガジン、またはパッケージ化されたデバイス（寸法および積載方向を含む）。
表面対物レンズ
残留物除去、酸化物還元、表面活性化、濡れ性の向上、または接着、アンダーフィル、成形、コーティング前の準備。
材料およびデバイスの感度
イオン、熱、紫外線への曝露を制限する可能性のある、露出した金属、ポリマー、光学面、MEMS構造、またはその他の材料を特定する。
生産とトレーサビリティ
バッチ数量、サイクル目標、レシピ保存、バーコード、ログ記録、SECS/GEM、およびインライン通信の要件。
ユーティリティと設置
利用可能なプロセスガス、電力供給、圧縮空気、冷却装置、真空排気装置、床面積、および現地の安全要件。
中古機器レビュー
モデル名だけでなく、実際のプラズマシステムを確認してください。
型番だけで中古プラズマクリーナーを購入したものの、チャンバー電極が摩耗していたり、RF発生器が規格外だったりといった問題が発覚し、初期費用をはるかに上回るコストがかかるケースが見られます。同じプラズマクリーナーのモデルでも、チャンバー、RF発生器、電極、ガス分配器、ポンプ、ソフトウェア、自動化モジュールなどが異なる場合があります。見積書には、実際に納品される機種を明記する必要があります。
正確なプラットフォーム、製造年、シリアル番号、および現在地を確認してください。
チャンバーのサイズ、電極の配置、RF周波数、および電力構成を特定します。
ガス流路、流量制御、ポンプ型式、パージ装置、排気経路を確認してください。
処理モジュール、レシピソフトウェア、ライセンス、バーコード、ログ記録、および工場インターフェースを確認してください。
電極の摩耗、チャンバー内の堆積物、ポンプの整備履歴、シール、バルブ、および改修範囲を確認してください。
リストには、ラック、ボート、運搬装置、マニュアル、スペアパーツ、変圧器、および設置要件が含まれていました。
よくある質問
プラズマクリーナーの選び方に関するよくある質問
これらの質問は、見積もりを作成する前に、機器の種類、プロセス経路、および実際の構成を区別するのに役立ちます。
プラズマクリーナーは、ワイヤボンディングやダイアタッチの性能を向上させることができますか？
特定の有機汚染、酸化状態、または低い表面エネルギーがプロセスに影響を与えている場合に、この方法が役立つ可能性があります。有機物除去には酸素プラズマが一般的に用いられ、金属表面の酸化還元にはアルゴンが用いられます。装置やレシピを選択する前に、製品の材質、汚染源、および接合方法を検討する必要があります。
バッチ式プラズマ洗浄と自動プラズマ洗浄の違いは何ですか？
バッチシステムは、トレイ、ラック、またはキャリアを使用して製品をチャンバーに投入し、柔軟性の高さからよく選ばれます。自動システムは、ストリップ、マガジン、ウェハ、またはコンベアによる搬送機能を追加することで、再現性の高い生産と工場への統合を実現します。
酸素、アルゴン、またはその他のプロセスガスはどのように選択すればよいですか？
酸素は有機汚染物質を酸化して揮発性の副生成物に変え、それを排気します。これは、コーティングや印刷の前に有機膜を除去する方法です。アルゴンは化学反応ではなく物理的なイオン衝撃によって作用し、金属表面の自然酸化膜の厚さを低減します。これは、ボンディング前にボンドパッドや金属界面の酸化を除去する方法です。プラズマ洗浄の仕様でこれら2種類のガスを互換性のあるものとして扱うことが、多くの間違いの原因となっています。
プラズマ洗浄は湿式洗浄に取って代わるのか？
いいえ。プラズマは多くの有機残留物や表面活性化作業に効果的ですが、粒子、イオン汚染、および重度の堆積物には、湿式洗浄または機械洗浄プロセスが必要になる場合があります。
中古のプラズマクリーナーで確認すべき点は何ですか？
モデル、チャンバー、RF発生器、電極、ガス制御装置、真空ポンプ、ローダー、ソフトウェア、プロセス履歴、チャンバーの清浄度、メンテナンス記録、付属の治具、および工場のユーティリティ要件を確認してください。
プラズマ洗浄機の見積もりにはどのような情報が必要ですか？
対象製品、寸法、汚染または表面処理の目的、次の工程、希望する自動化方法、必要なガス経路、生産量、設備の状態、仕向国をお知らせください。型番は記載していただけると助かりますが、必須ではありません。
中古プラズマクリーナーの見積もりを依頼する
製品フォーマット、表面対物レンズ、次の処理工程、およびガス化学に関する要件をお送りください。4営業時間以内に、在庫状況、チャンバーの互換性、および構成の完了状況を確認いたします。