中古ウェハー洗浄機

ウェーハ洗浄装置は、汚染物質を除去する独立型の洗浄システムです。ウェーハ洗浄ステーションは通常、より大きなプロセスラインまたはクラスタツール内のモジュールの一つであり、特定の洗浄工程専用です。これらの用語は重複する部分がありますが、統合レベルが異なります。

CMP後やダイシング後の微粒子除去には、ブラシ洗浄が最適です。スプレー洗浄は、フラックス残渣やパッケージ洗浄に適しています。メガソニック洗浄は、物理的な接触を最小限に抑える必要がある微粒子除去に使用されます。どの洗浄方法を選択するかは、汚染の種類とウェーハ表面の感度によって異なります。

ウェハーサイズ、洗浄方法、化学薬品との適合性、自動化レベル、ブラシ／ノズルの状態、チャックの種類、ソフトウェア、取り扱いオプション、付属アクセサリー、機器の状態など、すべてが価格に影響します。手動の実験室プラットフォームを、完全自動の生産システムと直接比較すべきではありません。

一部のモジュール式プラットフォームは再構成可能ですが、ブラシの種類、化学組成、ノズル構成、およびハンドリングシステムは、用途によって異なります。サポート状況は、基本モデル名から推測するのではなく、実際の構成に基づいて確認する必要があります。

完全なモデルとシリアル番号、ウェハサイズ、洗浄方法、ブラシとノズルの状態、化学薬品との適合性、チャックとスピンモジュールの摩耗、ソフトウェアのバージョンとライセンス、取り扱いオプション、付属アクセサリ、動作状態、およびサービス履歴を確認してください。

システムによっては、SiC、GaN、サファイア、ガラス基板に対応できるものもありますが、化学組成、処理圧力、損傷限界はそれぞれ異なります。使用する材料と設置構成に合わせて、互換性を確認する必要があります。