ヒーター修理
改修工事

セラミック製台座および関連するチャンバーヒーターアセンブリについては、部品番号、構造、実際の故障状況に基づいて調査できます。特定のアセンブリに対するサービス範囲と専門作業についても確認いたします。

電源リード線やピンの不具合は、接合部の状態、材質、アクセス性などが良好であれば、修復可能な場合があります。ただし、ろう付けなどの接合方法は、すべてのヒーターに適しているとは限りません。

軽微な損傷であれば、清掃、再仕上げ、または専門的な表面処理で修復できる場合があります。損傷の深さ、平坦度、材質、およびチャンバーへの適用状況によって、修復が可能かどうかが決まります。

表面的な摩耗と構造的な亀裂は同じではありません。亀裂が機械的、電気的、または真空の完全性を脅かすかどうかを評価し、修理が信頼できない場合は交換を推奨します。

電気抵抗、絶縁性、センサーの動作は、装置から切り離して検査することができます。温度均一性については、追加の温度測定装置または最終的な顧客による装置検証が必要となる場合があります。合意された検査範囲は明確に記載されています。

元のアセンブリを修理することで、既存の機械的および電気的インターフェースを維持できますが、交換した部品やプロセスパラメータは、再設置前に必ず確認する必要があります。

部品番号、ウェハサイズ、ヒーターゾーン、取り付けパターン、電気定格、熱電対の詳細、チャンバー用途に基づいて、代替案を検討できます。

ヒーターの部品番号、前面と背面の鮮明な写真、可能であれば抵抗値または絶縁抵抗値の測定値、加熱ゾーン、工具のモデル、および報告された熱的または電気的な症状をお送りください。