Katalyst는 양쪽에 각각 6개씩, 총 12개의 노즐을 갖춘 듀얼 본드 헤드 구조를 사용합니다. 다중 노즐 시스템은 처리량을 향상시키지만, 노즐 간 일관성에 대한 요구 사항도 높아집니다. 이 시스템은 런타임 자동 정확도 보정을 통해 본드 헤드 간의 편차를 실시간으로 보정하여 노즐 간 변동이 배치 일관성에 영향을 미치는 것을 방지합니다. 또한, 자동 열 드리프트 보정 기능은 장시간 연속 작동 중 온도 변화로 인한 정확도 변동을 보정합니다.
이 시스템은 정렬을 위해 하향 카메라와 상향 카메라를 통합합니다. 하향 카메라는 기판의 기준점을 식별하고, 상향 카메라는 노즐에서 다이의 위치를 파악합니다. 두 카메라는 서로 정렬되도록 자동으로 보정됩니다. 접합 후 비전 검증 시스템은 접합 위치를 확인하고 후속 공정에 필요한 결함 위치 데이터를 제공합니다.
주요 사양
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 배치 정확도 | < 3 μm (3σ, 표준 속도) |
| 정확도(최대 속도) | 5 μm (3σ) |
| 순간 처리량 | 시간당 15,000회 (스프린트 모드) |
| 노즐 구성 | 양면 접착 헤드, 노즐 12개(측면당 6개) |
| 최소 다이 두께 | 50 μm |
| 정렬 시스템 | 하향식 및 상향식 카메라, 자동 보정 정렬 |
| 정확도 교정 | 런타임 자동 보정 기능으로 노즐 간 편차를 제거합니다. |
| 열 관리 | 자동 열 드리프트 보정 |
| 공구 교체 | 완전 자동 픽/플레이스 공구 교환 시스템 (신분증 확인 기능 포함) |
| 레시피 관리 | 자동 레시피 불러오기, 설정 마법사 안내 기능 |
| 공장 통합 | AGV/OHT 통신, 자재 추적, 표준 공장 인터페이스 |
생산 라인 적응성
Katalyst의 자동 공구 교환 시스템은 5가지 응용 분야에 걸쳐 전체 공구 세트를 동시에 로드할 수 있도록 지원합니다. 공구 교환은 ID 코드를 통해 자동으로 검증되며, 공구 선택 및 배치 교환은 5분 이내에 완료되어 전체 응용 분야 전환 시간을 20~30분으로 단축합니다. 레시피 로드는 소프트웨어에서 단 한 번의 클릭으로 1분 이내에 완료됩니다.
이 시스템의 공장 인터페이스는 자동 유도 차량(AGV) 및 오버헤드 운송(OHT) 시스템과 호환되고, 자재 추적 및 표준 공장 통신 프로토콜을 지원하며, 완전 자동화된 마이크로 LED 생산 라인에 통합될 수 있습니다.
마이크로 LED 조립에서의 공정 위치 선정
마이크로 LED 제조 공정에서 Katalyst는 다이 전송 후 접합 단계를 담당하여 플립칩 공정을 통해 이미 위치가 지정된 마이크로 LED 다이와 드라이버 기판 사이의 전기적 및 기계적 연결을 형성합니다. 픽셀 피치가 10μm 미만으로 작아짐에 따라 다이 크기와 정렬 허용 오차에 대한 요구 사항이 더욱 엄격해지므로 배치 시스템의 정확도 여유 공간이 수율에 매우 중요한 변수가 됩니다. Katalyst의 3μm 정확도와 다중 노즐 병렬 작동은 이러한 단계에서 요구되는 정밀도와 처리량 모두를 충족합니다.