그만큼 ACCRETECH / TSK UF3000EX 이 제품은 고정밀 전기적 특성 분석 및 다품종 대량 생산을 위해 설계된 업계 표준의 완전 자동 웨이퍼 프로버입니다. 명성 높은 기술을 기반으로 제작되었습니다. TSK UF3000 시리즈 UF3000EX는 아키텍처를 통해 200mm 및 300mm 웨이퍼 형식 모두에서 탁월한 웨이퍼 분류 기능, 정밀한 서브마이크론 위치 지정 및 안정적인 광학 정렬을 제공합니다.
~에 GK-SEMI저희는 바로 생산 가능한 제품을 제공합니다. TSK 프로브를 사용했습니다. 엄격한 다지점 기능 테스트, 진공 밀봉 진단 및 광학 교정을 통과한 스테이션으로, 새 장비를 구매하는 것보다 비용 효율적인 대안을 제공합니다.
기술 사양: TSK UF3000EX
| 매개변수 | 구성 세부 정보 |
|---|---|
| 제조업체 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. (ACCRETECH / TSK) |
| 모델 시리즈 | UF3000 / UF3000EX |
| 웨이퍼 직경 | 200mm(8인치) 및 300mm(12인치) 듀얼 핸들링 |
| 정렬 정확도 | 광학 조준경(OTS), ±2.0 µm 또는 그 이상 |
| 척 온도 | 상온/고온 척/삼중 온도(-55°C ~ +150°C / +200°C) |
| 프로브 카드 크기 | 최대 440mm(17.3인치) 표준 인터페이스 |
| 스테이지 드라이브 | 낮은 접촉력 제어 기능을 갖춘 고강성 4축 Z 스테이지 |
| 자동화 네트워크 | SECS/GEM, Light-VegaNet, VegaNet, 이더넷 |
Accretech Prober 플랫폼의 주요 장점
높은 인덱싱 속도: 초고속 XY 이동 및 자동 웨이퍼 이송을 통해 테스트 처리량을 극대화합니다.
낮은 접촉력 보호: 마이크로 스텝 Z축 구동 방식은 민감한 웨이퍼 표면, 패드 및 저유전율 소재의 손상을 방지합니다.
범용 ATE 호환성: 주요 테스트 헤드(Advantest, Teradyne 등)와의 손쉬운 도킹.
GK-SEMI 인증 검사 및 포장
모든 아크레텍 UF3000 GK-SEMI에서 공급하는 모든 제품은 완벽한 단계별 테스트, 모터 구동 진단, 열 교정 및 진공 누출 검증을 거칩니다. 모든 장치는 클린룸 등급 포장재에 제습제를 넣고 진공 밀봉한 후, 안전한 국제 운송을 위해 견고한 목재 상자에 포장됩니다.
자주 묻는 질문
질문: 이 TSK UF3000EX는 8인치와 12인치 웨이퍼를 모두 처리할 수 있습니까?
A: 네. 해당 시스템은 적절한 변환 키트와 척 구성을 통해 두 가지 웨이퍼 직경 작업을 지원합니다.
질문: 기계 전원이 켜진 상태에서 실시간 영상 검사를 제공하시나요?
A: 네, 저희는 제품 출하 전에 웨이퍼 교환, 광학 정렬 및 시스템 자체 테스트를 보여주는 전체 비디오 자료를 제공합니다.
