Cái ACCRETECH / TSK UF3000EX Đây là máy kiểm tra wafer tự động hoàn toàn, đạt chuẩn ngành, được thiết kế cho việc đo đặc tính điện chính xác cao và sản xuất số lượng lớn với nhiều chủng loại sản phẩm. Được xây dựng trên nền tảng công nghệ nổi tiếng. Dòng TSK UF3000 Với kiến trúc này, UF3000EX cung cấp khả năng phân loại wafer vượt trội, định vị chính xác đến từng micromet và căn chỉnh quang học đáng tin cậy trên cả hai định dạng wafer 200mm và 300mm.
Tại GK-SEMIChúng tôi cung cấp sản phẩm sẵn sàng cho sản xuất. đã sử dụng máy dò TSK Các trạm đã vượt qua các bài kiểm tra chức năng đa điểm nghiêm ngặt, chẩn đoán độ kín chân không và hiệu chuẩn quang học, mang đến một giải pháp tiết kiệm chi phí thay thế cho việc mua thiết bị mới.
Thông số kỹ thuật: TSK UF3000EX
| Tham số | Chi tiết cấu hình |
|---|---|
| Nhà sản xuất | Công ty TNHH Tokyo Seimitsu (ACCRETECH / TSK) |
| Dòng sản phẩm | UF3000 / UF3000EX |
| Đường kính wafer | Tay cầm kép 200 mm (8 inch) & 300 mm (12 inch) |
| Độ chính xác căn chỉnh | Kính ngắm mục tiêu quang học (OTS), độ chính xác ±2,0 µm hoặc tốt hơn |
| Nhiệt độ mâm cặp | Nhiệt độ môi trường / Nhiệt độ cao / Nhiệt độ ba mức (-55°C đến +150°C / +200°C) |
| Kích thước thẻ thăm dò | Giao diện tiêu chuẩn lên đến 440 mm (17,3 inch) |
| Lái xe theo giai đoạn | Hệ thống bàn trượt Z bốn trục độ cứng cao với điều khiển lực tiếp xúc thấp |
| Mạng lưới tự động hóa | SECS/GEM, Light-VegaNet, VegaNet, Ethernet |
Những ưu điểm chính của nền tảng Accretech Prober
Tốc độ lập chỉ mục cao: Tối ưu hóa hiệu suất kiểm tra với chuyển động XY cực nhanh và chuyển giao wafer tự động.
Bảo vệ bằng lực tiếp xúc thấp: Hệ thống điều khiển Z vi bước giúp ngăn ngừa hư hại cho các bề mặt wafer nhạy cảm, các điểm tiếp xúc và vật liệu có hằng số điện môi thấp.
Khả năng tương thích ATE phổ quát: Dễ dàng kết nối với các đầu dò chính (Advantest, Teradyne, v.v.).
Kiểm tra và đóng gói đạt chứng nhận GK-SEMI
Mọi accretech uf3000 Các sản phẩm do GK-SEMI cung cấp đều trải qua quy trình kiểm tra toàn diện, chẩn đoán động cơ, hiệu chuẩn nhiệt và kiểm tra rò rỉ chân không. Tất cả các thiết bị đều được niêm phong chân không với chất hút ẩm trong bao bì đạt tiêu chuẩn phòng sạch và đóng gói trong thùng gỗ chắc chắn để vận chuyển quốc tế an toàn.
Câu hỏi thường gặp
Hỏi: Máy TSK UF3000EX này có thể xử lý cả wafer 8 inch và 12 inch không?
A: Có. Hệ thống hỗ trợ hoạt động với hai đường kính wafer khác nhau bằng cách sử dụng bộ chuyển đổi và cấu hình mâm cặp phù hợp.
Hỏi: Công ty có cung cấp dịch vụ kiểm tra máy móc trực tiếp khi đang hoạt động bằng video không?
A: Vâng, chúng tôi cung cấp đầy đủ video ghi lại quá trình thay thế wafer, căn chỉnh quang học và tự kiểm tra hệ thống trước khi giao hàng.
