เดอะ ACCRETECH / TSK UF3000EX เป็นเครื่องตรวจสอบเวเฟอร์อัตโนมัติเต็มรูปแบบที่เป็นมาตรฐานอุตสาหกรรม ออกแบบมาเพื่อการวิเคราะห์คุณสมบัติทางไฟฟ้าที่มีความแม่นยำสูง และการผลิตที่หลากหลายและปริมาณมาก สร้างขึ้นบนพื้นฐานที่ได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวาง ซีรี่ส์ TSK UF3000 ด้วยสถาปัตยกรรมดังกล่าว UF3000EX จึงมอบความสามารถในการคัดแยกเวเฟอร์ที่โดดเด่น การกำหนดตำแหน่งที่แม่นยำระดับไมครอน และการจัดแนวแสงที่เชื่อถือได้สำหรับเวเฟอร์ทั้งขนาด 200 มม. และ 300 มม.
ที่ จีเค-เซมิเราจัดเตรียมผลิตภัณฑ์ที่พร้อมสำหรับการผลิต ใช้โพรบ TSK สถานีเหล่านี้ผ่านการทดสอบการทำงานหลายจุดอย่างเข้มงวด การวินิจฉัยการปิดผนึกสุญญากาศ และการสอบเทียบทางแสง จึงเป็นทางเลือกที่คุ้มค่ากว่าการซื้ออุปกรณ์ใหม่
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค: TSK UF3000EX
| พารามิเตอร์ | รายละเอียดการกำหนดค่า |
|---|---|
| ผู้ผลิต | บริษัท โตเกียว เซอิมิตสึ จำกัด (ACCRETECH / TSK) |
| รุ่นต่างๆ | UF3000 / UF3000EX |
| เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ | รองรับการใช้งานสองระยะ คือ 200 มม. (8 นิ้ว) และ 300 มม. (12 นิ้ว) |
| ความแม่นยำในการจัดแนว | กล้องเล็งเป้าหมายแบบออปติคอล (OTS) ความแม่นยำ ±2.0 µm หรือดีกว่า |
| อุณหภูมิหัวจับ | อุณหภูมิห้อง / หัวจับความร้อน / อุณหภูมิสามระดับ (-55°C ถึง +150°C / +200°C) |
| ขนาดการ์ดโพรบ | อินเทอร์เฟซมาตรฐานขนาดสูงสุด 440 มม. (17.3 นิ้ว) |
| สเตจไดรฟ์ | แท่นวางแกน Z สี่แกนที่มีความแข็งแกร่งสูง พร้อมระบบควบคุมแรงสัมผัสต่ำ |
| เครือข่ายอัตโนมัติ | SECS/GEM, Light-VegaNet, VegaNet, อีเธอร์เน็ต |
ข้อได้เปรียบที่สำคัญของแพลตฟอร์ม Accretech Prober
ความเร็วในการจัดทำดัชนีสูง: เพิ่มประสิทธิภาพการทดสอบให้สูงสุดด้วยการเคลื่อนที่ XY ที่รวดเร็วเป็นพิเศษและการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์แบบอัตโนมัติ
ระบบป้องกันแรงสัมผัสต่ำ: ระบบขับเคลื่อนแกน Z แบบไมโครสเต็ปช่วยป้องกันความเสียหายต่อพื้นผิวเวเฟอร์ที่บอบบาง แผ่นรอง และวัสดุที่มีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกต่ำ
ความเข้ากันได้กับ ATE ทั่วไป: เชื่อมต่อกับหัวทดสอบหลักๆ (Advantest, Teradyne ฯลฯ) ได้อย่างง่ายดาย
GK-SEMI รับรองการตรวจสอบและบรรจุภัณฑ์
ทั้งหมด accretech uf3000 สินค้าที่จัดส่งโดย GK-SEMI ผ่านการทดสอบทุกขั้นตอนอย่างครบถ้วน รวมถึงการวินิจฉัยการทำงานของมอเตอร์ การปรับเทียบอุณหภูมิ และการตรวจสอบการรั่วไหลของสุญญากาศ สินค้าทุกชิ้นถูกบรรจุในถุงสุญญากาศพร้อมสารดูดความชื้นในบรรจุภัณฑ์ระดับห้องปลอดเชื้อ และบรรจุในลังไม้ที่แข็งแรงทนทานเพื่อการขนส่งระหว่างประเทศอย่างปลอดภัย
คำถามที่พบบ่อย
ถาม: เครื่อง TSK UF3000EX นี้สามารถรองรับเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วและ 12 นิ้วได้หรือไม่?
A: ใช่ ระบบรองรับการทำงานกับเวเฟอร์สองขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางได้ โดยใช้ชุดแปลงและโครงสร้างหัวจับที่เหมาะสม
ถาม: คุณให้บริการตรวจสอบด้วยวิดีโอขณะเปิดเครื่องแบบเรียลไทม์หรือไม่?
A: ใช่ เรามีเอกสารวิดีโอครบถ้วนที่แสดงขั้นตอนการเปลี่ยนเวเฟอร์ การจัดตำแหน่งทางแสง และการทดสอบระบบด้วยตนเองก่อนจัดส่ง
