Katalyst menggunakan seni bina kepala dwi-ikatan dengan 6 muncung setiap sisi, untuk sejumlah 12 muncung. Walaupun sistem berbilang muncung meningkatkan daya pemprosesan, ia juga meletakkan permintaan yang lebih tinggi pada konsistensi muncung ke muncung. Sistem ini mengimbangi sisihan merentasi kepala ikatan dalam masa nyata melalui penentukuran ketepatan automatik masa jalan, menghalang variasi muncung ke muncung daripada menjejaskan konsistensi penempatan. Pampasan hanyutan terma automatik membetulkan turun naik ketepatan yang disebabkan oleh perubahan suhu semasa operasi berterusan yang berpanjangan.
Sistem ini mengintegrasikan kamera pandangan ke bawah dan kamera pandangan ke atas untuk penjajaran. Kamera pandangan ke bawah mengenal pasti fiducial substrat, manakala kamera pandangan ke atas mencari acuan pada muncung. Kedua-dua kamera dikalibrasi secara automatik untuk penjajaran antara satu sama lain. Sistem pengesahan penglihatan pasca-ikatan mengesahkan penempatan ikatan, menyediakan data lokasi kecacatan untuk proses hiliran.
Spesifikasi Utama
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Ketepatan penempatan | < 3 μm (3σ, kelajuan piawai) |
| Ketepatan (kelajuan penuh) | 5 µm (3σ) |
| Daya pemprosesan serta-merta | 15,000 UPH (Mod Pecut) |
| Konfigurasi muncung | Kepala ikatan berganda, 12 muncung (6 setiap sisi) |
| Ketebalan acuan minimum | 50 μm |
| Sistem penjajaran | Kamera pandang ke bawah + pandang ke atas, penjajaran yang dikalibrasi secara automatik |
| Penentukuran ketepatan | Penentukuran automatik masa jalan, menghapuskan variasi muncung ke muncung |
| Pengurusan terma | Pampasan hanyutan terma automatik |
| Perubahan alat | Pertukaran alat pilih/letak automatik sepenuhnya (dengan pengesahan ID) |
| Pengurusan resipi | Pemuatan resipi automatik, wizard persediaan berpandu |
| Integrasi kilang | Komunikasi AGV/OHT, pengesanan bahan, antara muka kilang standard |
Kebolehsuaian Barisan Pengeluaran
Sistem pertukaran alat automatik Katalyst menyokong pemuatan serentak set alat penuh yang meliputi 5 aplikasi. Perubahan alat disahkan secara automatik melalui pengekodan ID, dan pertukaran alat pilih dan tempat alat selesai dalam masa 5 minit, menjadikan keseluruhan masa pertukaran aplikasi dalam masa 20 hingga 30 minit. Pemuatan resipi selesai dengan satu klik perisian dalam masa kurang daripada 1 minit.
Antara muka kilang sistem ini serasi dengan sistem kenderaan berpandu automatik (AGV) dan pengangkutan atas (OHT), menyokong penjejakan bahan dan protokol komunikasi kilang standard serta boleh disepadukan ke dalam barisan pengeluaran Mikro LED automatik sepenuhnya.
Kedudukan Proses dalam Perhimpunan Mikro LED
Dalam aliran pembuatan Micro LED, Katalyst mengendalikan langkah ikatan yang mengikuti pemindahan acuan, membentuk sambungan elektrik dan mekanikal antara acuan Micro LED yang telah diletakkan dan substrat pemacu melalui proses cip flip. Apabila pic piksel mengecut di bawah 10 μm, keperluan toleransi saiz acuan dan penjajaran menjadi lebih ketat, menjadikan ruang ketepatan sistem penempatan sebagai pembolehubah hasil yang kritikal. Ketepatan 3 μm Katalyst dan operasi selari berbilang muncung sepadan dengan tuntutan dwi ketepatan dan daya pemprosesan dalam langkah ini.