Apakah kegunaan pengisar wafer?
Pengisar wafer membuang bahan dari bahagian belakang wafer semikonduktor untuk mencapai ketebalan, TTV dan keadaan permukaan yang diperlukan sebelum memotong dadu, menyusun, membungkus atau proses hiliran yang lain.
Apakah TTV dan mengapa ia penting dalam pengisaran wafer?
TTV (Variasi Ketebalan Keseluruhan) ialah perbezaan antara ketebalan maksimum dan minimum permukaan wafer tanah. Ia secara langsung mempengaruhi kebolehpercayaan penyusunan cip dan hasil peranti keseluruhan. Pada ketebalan di bawah 100µm, risiko kerosakan wafer meningkat dengan mendadak — spesifikasi pengendalian wafer nipis dan pemilihan roda menjadi kritikal.
Apakah perbezaan antara pengisaran wafer dan penggilapan wafer?
Pengisaran membuang bahan pukal dengan cekap menggunakan roda pengisaran. Penggilapan atau proses pelepasan tekanan lain boleh ditambah selepas itu untuk mengurangkan lapisan kerosakan pengisaran, memperbaiki keadaan permukaan dan menyokong keperluan kekuatan acuan. Pengisar-penggilap gabungan boleh mengendalikan kedua-dua langkah, tetapi tidak semua pengisar mempunyai keupayaan penggilapan.
Apakah proses TAIKO?
Proses TAIKO ialah kaedah pengisaran balik wafer yang meninggalkan cincin sokongan luar sambil menipiskan kawasan wafer dalam. Ia boleh mengurangkan risiko pengendalian dan meleding, tetapi memerlukan mesin yang serasi dan syarat proses yang berkelayakan. Jangan menganggap pengisar konvensional boleh ditukar tanpa mengesahkan konfigurasi chuck dan roda.
Bolehkah pengisar wafer yang sama memproses wafer silikon dan SiC?
Bukan secara automatik. SiC dan substrat keras dan rapuh yang lain mungkin memerlukan ketegaran gelendong, kuasa, spesifikasi roda, kadar penyingkiran, penyejukan dan kelayakan proses yang berbeza. Kekerasan SiC — 9.5 pada skala Mohs — menjadikan pengisaran konvensional mencabar, dan kaedah bantuan laser muncul sebagai alternatif. Sahkan mesin dan pakej roda sebenar.
Berapakah kos pengisar wafer terpakai?
Tiada harga universal yang boleh dipercayai. Kos bergantung pada jenama, model, tahun, saiz wafer, konfigurasi gelendong dan chuck, tolok ketebalan, pemuat, perisian, sejarah penyelenggaraan, skop pengubahsuaian dan aksesori yang disertakan. Minta sebut harga berasaskan konfigurasi.