ThinkLaser SigmaDSC melakukan penandaan keras automatik pada wafer semikonduktor. Pemasangan terasnya menggabungkan Optik Titik Dwi™, sumber laser keadaan pepejal yang dipam diod dan kawalan kedalaman gelung tertutup untuk membentuk tanda lekukan titik-matriks kekal. Tanda mengekalkan kebolehbacaan merentasi langkah kitaran haba, pengukiran dan penggilapan yang berturut-turut.
Enjin optik bersepadu menyokong pelarasan titik yang dikalibrasi melalui perisian antara 50 μm dan 110 μm. Perubahan geometri tidak memerlukan pertukaran perkakasan semasa pengeluaran dijalankan. Output laser berdenyut mengekalkan variasi denyutan minimum, mengekalkan pekeliling titik dan nisbah aspek yang konsisten merentasi kelompok. Tetapan kedalaman inden boleh diprogramkan. Sensor gelung tertutup menangkap metrik laser langsung dan memasukkan data ke dalam strim pengelogan SPC. Ketekalan dimensi tanda boleh dijejaki tanpa pensampelan manual berulang.
Pengendalian Substrat Automatik & Prestasi Penjajaran Bilik Bersih
Mekanik pengangkutan wafer memuat dan memunggah substrat 100 mm hingga 300 mm di dalam persekitaran bilik bersih. Koordinat penandaan sejajar dengan konvensyen susun atur SEMI. Ablasi keras dot-matriks menghasilkan pengecam kontras tinggi yang dalam. Sistem penglihatan dan OCR membaca tanda ini melalui setiap peringkat pembuatan. Proses boleh tala mengawal keseimbangan kedalaman inden, kelajuan garisan dan output zarah untuk operasi kebolehkesanan wafer silikon berterusan.
Penanda Aras Proses & Operasi
Jadual: Spesifikasi proses teras sistem penandaan keras wafer ThinkLaser SigmaDSC
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Saiz wafer yang disokong | 100 mm / 200 mm / 300 mm |
| Julat titik tanda laser | 50 µm – 110 µm |
| Corak penandaan | Tanda keras inden titik-matriks |
| Kawalan kedalaman | Pengesanan gelung tertutup masa nyata |
| Pematuhan piawaian | Susun atur tanda SEMI serasi |
| Pembalakan data | Rekod kebolehkesanan yang mematuhi SPC |
Jadual penanda aras ini merangkumi metrik proses teras; parameter terperinci penuh tersedia melalui muat turun helaian data produk.
