เครื่อง Axcelis GSD200 เกี่ยวข้องกับการฝังไอออนกระแสสูงสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งกระบวนการที่ต้องการปริมาณสารเจือปนจำนวนมากบนเวเฟอร์ขนาด 200 มม. ในการผลิตอุปกรณ์ไฟฟ้าและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์แบบแยกชิ้น สภาวะการฝังไอออนมีผลต่อการก่อตัวของรอยต่อ คุณลักษณะทางไฟฟ้า และความสม่ำเสมอของอุปกรณ์ที่ผลิตเสร็จแล้ว
โบรอน ฟอสฟอรัส และสารหนู เป็นสารเจือปนที่ใช้กันทั่วไปในกระบวนการประเภทนี้ โดยชนิดของสารที่เลือกใช้และสูตรการฝังจะถูกกำหนดโดยโครงสร้างของอุปกรณ์เป้าหมาย กระแสลำแสง ความแม่นยำของปริมาณรังสี การวางแนวของแผ่นเวเฟอร์ และการควบคุมการปนเปื้อน ล้วนมีส่วนช่วยในผลลัพธ์ของกระบวนการ การจัดการแบบเป็นชุดสามารถช่วยเพิ่มปริมาณการผลิตได้ ในขณะที่การกำหนดค่าจริงของเครื่องจักรจะเป็นตัวกำหนดความสามารถในการดำเนินการขั้นตอนการฝังเฉพาะเจาะจง
สำหรับโรงงานผลิตชิปที่ยังคงใช้สายการผลิตขนาด 200 มม. อยู่ การพิจารณาใช้เครื่อง GSD200 อาจคุ้มค่าสำหรับการฝังอนุภาคด้วยปริมาณสูงอย่างต่อเนื่อง ความเข้ากันได้กับสูตรการผลิตที่มีอยู่ สภาพของแหล่งกำเนิดไอออนและลำแสง และความพร้อมของฝ่ายสนับสนุนทางเทคนิค เป็นปัจจัยสำคัญในการกำหนดมูลค่าของอุปกรณ์มือสองนี้
ข้อมูลจำเพาะหลักของ Axcelis GSD200
| ผู้ผลิต | บริษัท แอกซ์เซลลิส เทคโนโลยีส์ |
|---|---|
| แบบอย่าง | จีเอสดี200 |
| ประเภทอุปกรณ์ | เครื่องฝังไอออนกระแสสูงแบบแบทช์ |
| ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ | ขนาด 150 มม. และ 200 มม. ตามรายการอุปกรณ์ที่มีอยู่ |
| การปลูกถ่ายคลาสปัจจุบัน | กระแสไฟฟ้าสูง |
| วิธีการประมวลผลเวเฟอร์ | การฝังแบบกลุ่มโดยใช้แผ่นเวเฟอร์หมุนหรือชุดสถานีปลายทาง ขึ้นอยู่กับการกำหนดค่า |
| แหล่งกำเนิดไอออน | ต้องตรวจสอบประเภทแหล่งสัญญาณที่ติดตั้งและการกำหนดค่าหัวแหล่งสัญญาณให้ถูกต้อง |
| การสกัดและลำแสง | ขึ้นอยู่กับการกำหนดค่า ต้องตรวจสอบช่วงแรงดันไฟฟ้าและส่วนประกอบลำแสงที่ติดตั้งไว้ |
| การกำหนดค่าก๊าซเจือปน | ต้องตรวจสอบกล่องแก๊ส ท่อส่งแก๊ส และชนิดของสารเติมแต่งที่ได้รับอนุมัติจากระบบที่มีอยู่ |
| การจัดการเวเฟอร์ | ต้องตรวจสอบการจัดวางตลับ, เครื่องจัดตำแหน่ง, หุ่นยนต์ และระบบดูดสุญญากาศ |
| การควบคุมกระบวนการ | การกำหนดค่าสูตร การตรวจสอบลำแสง และการควบคุมปริมาณรังสี ขึ้นอยู่กับตัวควบคุมที่ติดตั้งไว้ |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบัน การตรวจสอบ และการยืนยันการกำหนดค่า |
