กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนความละเอียดสูง Hitachi S-8840 (CD-SEM) ใช้ระบบอิเล็กตรอน-ออปติกความละเอียดสูงในการจับภาพรายละเอียดจากด้านบนของลวดลายละเอียด และวัดขนาดทางเรขาคณิต ทำให้สามารถควบคุมกระบวนการกัดและพิมพ์หินได้อย่างแม่นยำ การควบคุมลำแสงอิเล็กตรอนที่เสถียรและการตั้งค่าพารามิเตอร์กระบวนการอัตโนมัติช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำในการวัด CD ระบบนี้สามารถตรวจจับความเบี่ยงเบนของลวดลายเล็กน้อยและความผิดปกติของโปรไฟล์ได้ จึงเหมาะสำหรับการตรวจสอบแบบอินไลน์เป็นประจำภายในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อ
ระบบนี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการของการผลิตอย่างต่อเนื่องในระยะยาว โดยให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และบำรุงรักษาง่าย สามารถผสานรวมเข้ากับขั้นตอนการผลิตที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น ตรวจสอบคุณภาพของชิ้นงานแบบเรียลไทม์เพื่อรักษาระดับผลผลิตของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย
ข้อมูลจำเพาะหลักของ Hitachi S-8840
| ผู้ผลิต | ฮิตาชิ |
|---|---|
| แบบอย่าง | เอส-8840 |
| ประเภทอุปกรณ์ | กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนที่มีมิติวิกฤต |
| ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ | 150 มม. และ 200 มม. |
| ความหนาของเวเฟอร์ที่เข้ากันได้ | ประมาณ 0.4–1.0 มม. ตามข้อมูลที่มีอยู่ |
| ความจุของตลับเวเฟอร์ | เวเฟอร์ 25 ชิ้นต่อตลับ |
| ความละเอียดของภาพที่เผยแพร่ | 5 นาโนเมตร |
| ช่วงการวัด CD | 0.1–10 ไมโครเมตร |
| ความสามารถในการทำซ้ำของซีดี | 3σ ≤5 นาโนเมตร หรือ ≤±1% |
| กำลังขยาย SEM | 1,000 เท่า ถึง 150,000 เท่า |
| กำลังขยายของกล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสง | ประมาณ 110 เท่า |
| การจัดการเวเฟอร์ | การถ่ายโอนและจัดตำแหน่งเวเฟอร์อัตโนมัติจากตลับหนึ่งไปยังอีกตลับหนึ่ง |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบัน การตรวจสอบ และการยืนยันการกำหนดค่า |
