Kính hiển vi điện tử quét kích thước tới hạn (CD-SEM) độ chính xác cao Hitachi S-8840 sử dụng hệ thống quang học điện tử độ phân giải cao để chụp ảnh chi tiết từ trên xuống của các mẫu nhỏ và đo kích thước hình học của chúng, cho phép kiểm soát chính xác các quy trình khắc và in thạch bản. Việc kiểm soát chùm tia điện tử ổn định và cài đặt thông số quy trình tự động đảm bảo tính nhất quán và khả năng lặp lại trong các phép đo CD. Có khả năng phát hiện các sai lệch mẫu nhỏ và các bất thường về hình dạng, hệ thống này phù hợp cho việc kiểm tra thường xuyên trên dây chuyền sản xuất trong môi trường phòng sạch.
Được thiết kế để đáp ứng nhu cầu sản xuất liên tục, lâu dài, hệ thống này mang lại hiệu suất đáng tin cậy và dễ bảo trì. Nó tích hợp liền mạch vào quy trình sản xuất hiện có, giám sát chất lượng mẫu theo thời gian thực để đảm bảo năng suất sản phẩm cuối cùng.
Thông số kỹ thuật chính của Hitachi S-8840
| Nhà sản xuất | Hitachi |
|---|---|
| Người mẫu | S-8840 |
| Loại thiết bị | Kính hiển vi điện tử quét kích thước tới hạn |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | 150 mm và 200 mm |
| Độ dày wafer tương thích | Theo thông tin hiện có, kích thước khoảng 0,4–1,0 mm. |
| Dung lượng khay wafer | 25 miếng wafer mỗi khay |
| Độ phân giải hình ảnh đã xuất bản | 5 nm |
| Phạm vi đo CD | 0,1–10 µm |
| Khả năng lặp lại CD | 3σ ≤5 nm hoặc ≤±1% |
| Độ phóng đại SEM | Từ 1.000 lần đến 150.000 lần |
| Độ phóng đại của kính hiển vi quang học | Xấp xỉ 110× |
| Xử lý wafer | Tự động chuyển và căn chỉnh tấm bán dẫn từ khay này sang khay khác |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
