Mikroskop Elektron Pengimbas Dimensi Kritikal (CD-SEM) berketepatan tinggi Hitachi S-8840 menggunakan sistem elektron-optik beresolusi tinggi untuk menangkap imej terperinci dari atas ke bawah bagi corak halus dan mengukur dimensi geometrinya, membolehkan kawalan tepat ke atas proses pengukiran dan litografi. Kawalan pancaran elektron yang stabil dan tetapan parameter proses automatik memastikan ketekalan dan kebolehulangan dalam pengukuran CD. Mampu mengesan sisihan corak yang kecil dan anomali profil, sistem ini sesuai untuk pemeriksaan sebaris rutin dalam persekitaran bilik bersih.
Direka bentuk untuk memenuhi permintaan pengeluaran berterusan dan jangka panjang, sistem ini menawarkan prestasi yang andal dan kemudahan penyelenggaraan. Ia disepadukan dengan lancar ke dalam aliran kerja pembuatan sedia ada, memantau kualiti corak dalam masa nyata untuk melindungi hasil produk akhir.
Spesifikasi Utama Hitachi S-8840
| Pengilang | Hitachi |
|---|---|
| Model | S-8840 |
| Jenis Peralatan | Mikroskop Elektron Pengimbasan Dimensi Kritikal |
| Saiz Wafer yang Disokong | 150 mm dan 200 mm |
| Ketebalan Wafer yang Serasi | Kira-kira 0.4–1.0 mm, mengikut senarai yang ada |
| Kapasiti Kaset Wafer | 25 wafer setiap kaset |
| Resolusi Imej yang Diterbitkan | 5 nm |
| Julat Pengukuran CD | 0.1–10 µm |
| Kebolehulangan CD | 3σ ≤5 nm atau ≤±1% |
| Pembesaran SEM | 1,000× hingga 150,000× |
| Pembesaran Mikroskop Optik | Lebih kurang 110× |
| Pengendalian Wafer | Pemindahan dan penjajaran wafer automatik kaset-ke-kaset |
| Keadaan | Peralatan semikonduktor terpakai |
| Ketersediaan | Tertakluk kepada stok semasa, pemeriksaan dan pengesahan konfigurasi |
