บริการอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

การซ่อมแซม MFC
และการสอบเทียบ

บริการซ่อมและสอบเทียบตัวควบคุมการไหลของมวลสารสำหรับระบบส่งก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การเบี่ยงเบนเป็นศูนย์ การรั่วไหลของวาล์ว การตอบสนองที่ไม่เสถียร และความผิดพลาดของตัวควบคุม อาจเปลี่ยนแปลงการไหลของกระบวนการจริงได้ GK-SEMI จะตรวจสอบ MFC เดิม รวมถึงก๊าซ ช่วง และอินเทอร์เฟซ จากนั้นจึงกำหนดเส้นทางการซ่อมแซม การตรวจสอบ หรือการจัดหาชิ้นส่วนที่เหมาะสม

การตรวจสอบการไหลตามขอบเขต
การตรวจสอบเส้นทางการไหล
บริการวาล์วและที่นั่งวาล์ว
แหล่งจัดหา MFC ที่ตรงกัน

การวิเคราะห์ข้อผิดพลาด

สัญญาณบ่งชี้ความล้มเหลวของ MFC ที่พบได้ทั่วไป

ข้อผิดพลาดศูนย์ การไหลไม่ตรงกัน หรือการรั่วไหลของวาล์ว อาจเกิดจากสาเหตุต่างๆ กัน เราแยกแยะความปนเปื้อนและข้อบกพร่องของชิ้นส่วนออกจากความไม่ตรงกันของการสอบเทียบและการใช้งาน

Representative semiconductor process-gas mass flow controller with gas fittings and electrical interface
MFC ก๊าซสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ · ภาพประกอบ
01

การเบี่ยงเบนของกระแสและการสูญเสียช่วง

การปนเปื้อนหรือการเปลี่ยนแปลงค่าของเซ็นเซอร์อาจทำให้ค่าการอ่านศูนย์ผิดเพี้ยนและส่งผลกระทบต่อการไหลของกระบวนการได้

02

การรั่วซึมเล็กน้อยบริเวณบ่าวาล์ว

อนุภาคที่บริเวณที่นั่งวาล์วอาจทำให้วาล์วปิดไม่สนิทและรบกวนแรงดันในห้องวาล์วที่จุดตั้งค่าศูนย์ได้

03

การอุดตันของเส้นเลือดฝอย

การสะสมของตะกอนในทางเดินของไหลอาจจำกัดการส่งมอบ ทำให้การตอบสนองล่าช้า หรือขัดขวางการไหลอย่างเต็มประสิทธิภาพ

04

ความผิดพลาดทางไฟฟ้าและการสื่อสาร

แผงวงจรพิมพ์ (PCB) หรือขั้วต่อที่ชำรุดอาจทำให้สัญญาณอนาล็อกหรือการสื่อสารระหว่างอุปกรณ์กับคอมพิวเตอร์หยุดชะงักได้

ระดับการให้บริการ

เส้นทางการซ่อมและสอบเทียบ MFC

บางเครื่องอาจต้องการเพียงแค่การตรวจสอบประสิทธิภาพการทำงาน ในขณะที่บางเครื่องอาจต้องการการซ่อมแซมวาล์วหรือชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ก่อนการปรับเทียบใหม่ การให้บริการขึ้นอยู่กับรุ่นของเครื่องและประวัติการปนเปื้อน

ระดับ 1

การตรวจสอบและปรับการไหล

สำหรับเครื่องมือที่มีกลไกการทำงานเสถียร แต่มีรายงานการคลาดเคลื่อนของค่าศูนย์/ช่วงการวัด: ให้ตรวจสอบก๊าซ ช่วงการวัดเต็มสเกล สภาวะการทำงาน และการตรวจสอบอ้างอิงที่มีอยู่

  • ตรวจสอบการไหลตามจุดตั้งค่าที่ตกลงกันไว้
  • การปรับค่าศูนย์และช่วง
  • ผลการตรวจสอบกระบวนการทำงานและขอบเขตที่ตกลงกันไว้
ระดับ 2

บริการทำความสะอาดและบำรุงรักษาวาล์ว

สำหรับปัญหาการไหลติดขัด การตอบสนองช้า หรือวาล์วรั่ว: ตรวจสอบทางเดินการไหลภายใน ซีล และชุดประกอบวาล์วก่อนทำความสะอาดหรือเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เหมาะสมกับรุ่น

  • การทำความสะอาดสิ่งปนเปื้อนที่เหมาะสมกับแบบจำลอง
  • บริการเปลี่ยนถ่ายน้ำมันเครื่อง (ในกรณีที่มีการติดตั้ง)
  • การตรวจสอบการไหลเวียนหลังการให้บริการ
ระดับ 3

ซ่อมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และเซ็นเซอร์

ในกรณีที่ระบบขับเคลื่อนขัดข้อง เซ็นเซอร์ทำงานผิดปกติ หรือเกิดข้อผิดพลาดในการสื่อสาร ให้ตรวจสอบอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และซ่อมแซมวงจรที่สามารถซ่อมได้ก่อนทำการปรับแต่งและตรวจสอบความถูกต้องใดๆ

  • งานเกี่ยวกับวงจรหรือเซ็นเซอร์ที่กำหนดเป้าหมาย
  • การซ่อมแซมเซ็นเซอร์หรือแผงวงจรพิมพ์ (PCB)
  • การตรวจสอบการไหลในกรณีที่รองรับ

ผลลัพธ์ของการสอบเทียบและขอบเขตการให้บริการ เราให้บริการตรวจสอบการไหลภายใน การปรับค่าศูนย์/ช่วง และรายงานการสอบเทียบภายในที่สามารถตรวจสอบย้อนกลับไปยังมาตรฐานอ้างอิงของเราได้ สำหรับโรงงานผลิตเฉพาะที่ต้องการการรับรองมาตรฐาน ISO 17025 จากหน่วยงานภายนอก เราสามารถประสานงานการสอบเทียบแบบจ้างเหมาช่วงได้ การซ่อมแซมและการจัดหาอุปกรณ์ยังคงอยู่ในบทสนทนาเดียวกัน

ทำไมต้อง GK-SEMI

ซ่อมแซมโดยไม่ต้องเดา

ความแม่นยำของอัตราการไหล ความเข้ากันได้ของก๊าซ และการบูรณาการตัวควบคุม ล้วนเป็นส่วนสำคัญของกระบวนการกู้คืนที่มีประสิทธิภาพ เรามอง MFC ในฐานะส่วนประกอบของกระบวนการ ไม่ใช่แค่กล่องอิเล็กทรอนิกส์

MFC ดั้งเดิม

คงความพอดีแบบเดิมไว้

  • โปรแกรมที่ติดตั้ง: รักษาหมายเลขชิ้นส่วน ช่วงการวัดเต็มรูปแบบ การกำหนดค่าแก๊ส และอินเทอร์เฟซของเครื่องมือไว้
  • ความเข้ากันได้ของแก๊ส: ลักษณะการไหลจะเปลี่ยนแปลงไปตามการปรับแก้ก๊าซ ซีล และสภาวะการทำงาน
  • เป้าหมายการซ่อมแซม: ขั้นแรก ให้ตรวจสอบว่าชุดอุปกรณ์เดิมสามารถกลับมาทำงานได้อย่างเสถียรหรือไม่ โดยครอบคลุมถึงวาล์ว เซ็นเซอร์ และระบบควบคุมด้วย
คุณค่าของการบริการ

GK-SEMI บริการซ่อมและจัดหาอุปกรณ์

  • การซ่อมแซมเฉพาะจุด: ตรวจสอบเซ็นเซอร์วัดการไหล ซีลวาล์ว และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ แทนที่จะเปลี่ยนทุกชิ้นส่วน
  • การตรวจสอบ: ตกลงเรื่องการตรวจสอบอ้างอิง สภาพที่วัดได้ และเอกสารประกอบ การสอบเทียบที่ได้รับการรับรองเป็นบริการที่ได้รับการยืนยันแยกต่างหาก
  • แหล่งที่มา: หากการซ่อมแซมไม่สามารถทำได้ ให้ประสานงานจัดหาอะไหล่หรือตัวควบคุมที่ตรงกันในคำขอเดียวกัน
เส้นทางทางเลือก

การเปลี่ยนทดแทนที่ตรงกัน

  • ความเข้ากันได้: ตรวจสอบความเหมาะสมของแก๊ส เตา อุปกรณ์ทางเข้า/ออก ซีล แหล่งจ่ายไฟ และระบบสื่อสารแบบอนาล็อก/ดิจิทัล
  • ผลกระทบจากการเปลี่ยนแปลง: อธิบายสูตรการทำงาน การปรับเทียบ หรือการเปลี่ยนแปลงการตั้งค่าตัวควบคุมที่จำเป็นทั้งหมด
  • การยอมรับ: โปรดตรวจสอบบันทึกการทดสอบที่มีอยู่ สภาพของสินค้า และการตรวจสอบการยอมรับก่อนทำการสั่งซื้อ

รายงานกรณีการวินิจฉัย

การแก้ไขปัญหาการรั่วซึมขนาดเล็กที่ไม่มีการไหล

01

อาการที่รายงาน

เครื่องมือกัดกรด MFC แสดงอัตราการไหล 0% แต่แรงดันฐานห้องไม่คงที่ ผู้ผลิตแนะนำให้เปลี่ยนใหม่ทั้งหมด

02

การวินิจฉัยเบื้องต้น

จากการตรวจสอบพบว่ามีอนุภาคสะสมอยู่บนบ่าวาล์ว ทำให้วาล์วปิดไม่สนิท เซ็นเซอร์ความร้อนทำงานได้ปกติ

03

การดำเนินการซ่อมแซม

ทำความสะอาดตัววาล์วด้วยคลื่นอัลตราโซนิค เปลี่ยนซีลยาง และทำการตรวจสอบและปรับการไหลตามที่บันทึกไว้

< 1x10⁻⁹ อัตราการรั่วไหล (Pa·m³/s)
±1% FS ความแม่นยำที่ปรับเทียบแล้ว
หลีกเลี่ยง อะไหล่แท้จากผู้ผลิต (OEM)

ก่อนที่คุณจะจัดส่ง

คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับบริการ MFC

คำตอบที่ชัดเจนเกี่ยวกับความสามารถในการตรวจสอบย้อนกลับของการสอบเทียบ ขีดจำกัดการซ่อมแซม และการจัดหาชิ้นส่วนสำรอง

สามารถซ่อมแซม MFC แทนการเปลี่ยนใหม่ได้หรือไม่?

สามารถตรวจสอบและซ่อมแซมความผิดพลาดของวาล์ว ตัวเชื่อมต่อ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์หลายอย่างได้ เซ็นเซอร์ที่เสียหาย ระดับการปนเปื้อน หรือชิ้นส่วนที่ไม่พร้อมใช้งาน อาจทำให้ขั้นตอนการซ่อมแซมเปลี่ยนไป เราจึงเริ่มจากการระบุตัวอุปกรณ์และหาสาเหตุของความผิดพลาดอย่างแม่นยำก่อน

ค่าการเบี่ยงเบนเป็นศูนย์หมายความว่าเซ็นเซอร์เสียหายเสมอไปหรือไม่?

ไม่ ค่าที่แสดงเป็นศูนย์อาจได้รับอิทธิพลจากอุณหภูมิ การรั่วไหลของวาล์ว การปนเปื้อน และความผิดปกติทางไฟฟ้า ควรตรวจสอบสาเหตุที่แท้จริงก่อนที่จะเปลี่ยนเซ็นเซอร์

การปรับเทียบแตกต่างจากการซ่อมแซมอย่างไร?

การซ่อมแซมเป็นการแก้ไขปัญหาการทำงานที่ผิดปกติทั้งทางกายภาพหรือทางอิเล็กทรอนิกส์ การสอบเทียบเป็นการเปรียบเทียบประสิทธิภาพการไหลกับค่าอ้างอิงภายใต้เงื่อนไขที่กำหนด การปรับแต่งและการออกใบรับรองขึ้นอยู่กับขอบเขตการให้บริการจริง

คุณสามารถทำความสะอาดหลอดเลือดฝอยหรือลิ้นหัวใจที่อุดตันได้หรือไม่?

การปนเปื้อนอาจส่งผลต่อการตอบสนองและการปิดระบบ แต่วิธีการทำความสะอาดขึ้นอยู่กับโครงสร้างของ MFC และการสัมผัสกับกระบวนการ ทางเดินของไหลที่ไวต่อการปนเปื้อนไม่ควรได้รับการทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิคหรือสารเคมีอย่างไม่เลือกปฏิบัติ

คุณให้บริการสอบเทียบที่ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO/IEC 17025 หรือไม่?

การสอบเทียบที่ได้รับการรับรองไม่ได้มีไว้สำหรับทุกรุ่นหรือทุกบริการเสมอไป โปรดแจ้งความต้องการเอกสารให้เราทราบ และเราจะตรวจสอบว่ามีช่องทางการรับรองที่เหมาะสมหรือไม่ก่อนที่จะเสนอราคา

สามารถดัดแปลงเตา MFC ไปใช้กับแก๊สหรือเตาประเภทอื่นได้หรือไม่?

ตระกูล MFC บางตระกูลรองรับการปรับช่วงหรือเปลี่ยนก๊าซภายใต้เงื่อนไขเฉพาะ การปรับแก้ก๊าซ ความเข้ากันได้ของวัสดุอีลาสโตเมอร์ คุณลักษณะของวาล์ว และพารามิเตอร์ของตัวควบคุมจะต้องได้รับการตรวจสอบ ไม่ใช่การเปลี่ยนแปลงการตั้งค่าแบบทั่วไป

ถ้าหาก MFC รุ่นดั้งเดิมถูกยกเลิกการผลิตล่ะ?

เราสามารถตรวจสอบแหล่งที่มาได้โดยพิจารณาจากผู้ผลิต หมายเลขชิ้นส่วน ประเภทก๊าซ ช่วงขนาดทั้งหมด อุปกรณ์เชื่อมต่อ สัญญาณคำสั่ง/เอาต์พุต และการใช้งานในกระบวนการ พร้อมทั้งเปิดเผยสถานะการทดแทน

ต้องใช้ข้อมูลอะไรบ้างในการเริ่มต้น?

ส่งฉลาก MFC, ชนิดก๊าซและช่วงการวัดเต็มสเกล, ปัญหาการไหล/ค่าศูนย์ที่รายงาน, รุ่นของเครื่องมือ และข้อสังเกตเกี่ยวกับข้อผิดพลาดหรือแรงดันใดๆ แจ้งข้อมูลเกี่ยวกับการสัมผัสกับก๊าซอันตรายในกระบวนการผลิตก่อนการจัดส่ง

ขั้นตอนต่อไป

ต้องการซ่อม MFC ใช่ไหม?

โปรดแจ้งรุ่น MFC ประเภทก๊าซ และอาการผิดปกติ วิศวกรของเราจะทำการประเมินและวางแผนการปรับเทียบอย่างละเอียด

ติดต่อ GK-SEMI ออนไลน์ ↗