ASM MS100 Plus เป็นเครื่องคัดแยกและวางชิ้นส่วนเวเฟอร์แบบปรับปรุงใหม่ โดยต่อยอดจากแพลตฟอร์ม MS100 ด้วยความเร็ว ความเสถียรในการจัดการ และความสามารถในการประมวลผลที่ดียิ่งขึ้น เครื่องนี้อ่านข้อมูลการผ่าน/ไม่ผ่าน และข้อมูลเกรดจากไฟล์แผนที่การทดสอบส่วนหน้า จากนั้นเลือกชิ้นส่วนจากเวเฟอร์หรือเฟรมฟิล์มที่ถูกตัดแล้ว และวางลงในตำแหน่งเอาต์พุตที่กำหนดตามหมวดหมู่
แพลตฟอร์มนี้รองรับเวเฟอร์ขนาด 2 ถึง 6 นิ้ว โดยขนาด 2–4 นิ้วเป็นขนาดมาตรฐาน สามารถส่งเอาต์พุตไปยังตัวลำเลียง เฟรม ถาด หรือท่อได้ ขึ้นอยู่กับโมดูลเอาต์พุตที่ติดตั้ง อัตราการผลิตที่ระบุไว้สูงถึง 100 รอบการหยิบต่อนาที หรือประมาณ 6,000 UPH โดยการหมุนของไดถูกควบคุมให้อยู่ภายใน ±1° ระบบตัวเชื่อมต่ออิสระคู่รองรับการกำหนดค่าเข็มเดี่ยวหรือคู่ และระบบวิชั่นแบบบูรณาการจะทำการตรวจสอบการจัดตำแหน่งคู่ก่อนการวางแต่ละครั้ง
เนื่องจาก MS100 Plus เป็นแพลตฟอร์มที่สามารถปรับแต่งได้ เครื่องสองเครื่องภายใต้ชื่อรุ่นเดียวกันจึงอาจมีอุปกรณ์หยิบจับแผ่นเวเฟอร์ โต๊ะวางแผ่นเวเฟอร์ ตัวยึดแผ่นเวเฟอร์ และใบอนุญาตซอฟต์แวร์ที่แตกต่างกัน ส่วนด้านล่างจะกล่าวถึงความสามารถทางเทคนิคของแพลตฟอร์มก่อน ตามด้วยข้อควรพิจารณาในการกำหนดค่าและการจัดซื้อเครื่องมือสอง
ข้อมูลจำเพาะหลัก
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| ประเภทอุปกรณ์ | เครื่องคัดแยกเวเฟอร์/ชิป |
| รอบการหยิบ | สูงสุด 100 รอบต่อนาที (6,000 รอบต่อชั่วโมง) |
| ความแม่นยำในการหมุนแม่พิมพ์ | ±1° |
| ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง | ±1 ล้าน (เฉลี่ย) |
| ขนาดเวเฟอร์ / เฟรมฟิล์ม | 2–6 นิ้ว (ขนาดมาตรฐาน 2–4 นิ้ว สูงสุด 6 นิ้ว) |
| การรองรับเวเฟอร์แบบขยาย | แผ่นเวเฟอร์ยูเทคติกขนาดสูงสุด 8 นิ้ว (พร้อมขาตั้งปรับระดับความสูงได้) |
| บอนด์ฟอร์ซ เรนจ์ | 40 กรัม – 250 กรัม |
| สื่อเอาต์พุต | ตัวยึด, โครง, ถาด, ท่อ |
| การกำหนดค่าตัวเชื่อมต่อ | ขั้วต่ออิสระคู่; เข็มเดี่ยวหรือเข็มคู่ |
| การจัดเก็บโปรแกรม | ไฟล์โปรแกรมสูงสุด 200 ไฟล์ |
| การใช้พลังงาน | 1300 วัตต์ (110 โวลต์) |
| แรงดันไฟฟ้าขาเข้า | 100–240 โวลต์ AC, 50/60 เฮิร์ตซ์ |
| ความต้องการอากาศอัด | 87 PSI (6 บาร์) |
| การใช้ลมอัด | 155 ลิตรต่อนาที |
| โครงสร้างเฟรม | โครงเหล็กกล้าความแข็งแรงสูง พร้อมฐานรองลดแรงสั่นสะเทือนทำจากยาง |
หมายเหตุเกี่ยวกับการกำหนดค่าและการจัดซื้อ
เครื่อง MS100 Plus เป็นแพลตฟอร์มที่สามารถปรับแต่งได้ เครื่องสองเครื่องที่มีชื่อรุ่นเดียวกันอาจมีอุปกรณ์หยิบจับแผ่นเวเฟอร์ ขนาดโต๊ะวางแผ่นเวเฟอร์ โมดูลตัวลำเลียงเอาต์พุต และระดับใบอนุญาตซอฟต์แวร์ที่แตกต่างกัน หากคุณกำลังประเมินเครื่องมือสอง รายการเหล่านี้จะเป็นตัวกำหนดว่าเครื่องนั้นจะสามารถใช้งานกับผลิตภัณฑ์ของคุณได้จริงหรือไม่:
รูปแบบเวเฟอร์/เฟรม ตรวจสอบให้แน่ใจว่าแท่นวางเวเฟอร์และอะแดปเตอร์เฟรมที่ติดตั้งนั้นตรงกับขนาดเวเฟอร์และขนาดเฟรมฟิล์มของคุณ การกำหนดค่ามาตรฐานรองรับขนาด 2–4 นิ้ว การรองรับขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้วต้องใช้ฮาร์ดแวร์เฉพาะ
เลือกอุปกรณ์สำหรับพิมพ์ ตรวจสอบว่ามีชุดหัวฉีดและเข็มแบบใดบ้าง อุปกรณ์จะขึ้นอยู่กับขนาดของแม่พิมพ์ — ชุดที่ออกแบบมาสำหรับแม่พิมพ์ขนาด 0.3 มม. จะใช้ไม่ได้กับแม่พิมพ์ขนาด 2 มม. โดยไม่ต้องเปลี่ยนอุปกรณ์
โมดูลเอาต์พุต ตัวยึด เฟรม ถาด และท่อแต่ละชนิดต้องการโมดูลเอาต์พุตที่แตกต่างกัน ตรวจสอบให้แน่ใจว่าอุปกรณ์ที่จัดส่งมานั้นมาพร้อมกับโมดูลที่ตรงกับบรรจุภัณฑ์ปลายทางของคุณ
เวอร์ชันซอฟต์แวร์และใบอนุญาต ความเข้ากันได้ของรูปแบบไฟล์แผนที่ ความจุในการจัดเก็บโปรแกรม และอัลกอริธึมการเรียงลำดับเสริมใดๆ อาจขึ้นอยู่กับเวอร์ชัน
การสอบเทียบระบบวิชั่น ขอเอกสารบันทึกการสอบเทียบและตรวจสอบความถูกต้องของการจัดตำแหน่งวิชั่นบนแผ่นเวเฟอร์ตัวอย่างหากเป็นไปได้
ประวัติการซ่อมบำรุง สำหรับอุปกรณ์ที่มีรอบการใช้งานสูง ให้สอบถามเกี่ยวกับอายุการใช้งานของหัวตัดแม่พิมพ์ ประวัติการเปลี่ยนสายพาน/ตัวป้อน และบันทึกการบำรุงรักษาเซอร์โวมอเตอร์ต่างๆ
