สำหรับงานแปรรูปความร้อนแบบเป็นชุดสำหรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว เครื่อง Thermco 5200 ถือเป็นเครื่องมือคลาสสิก เตาเผาแบบกระจายความร้อนแนวนอน นิยมใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการออกซิเดชัน การเจือสาร และ LPCVD เนื่องจากมีอายุการใช้งานยาวนาน โซนอุณหภูมิแบบเรียบ 1100 มม. ให้สภาวะอุณหภูมิที่คงที่ทั่วทั้งชุดเวเฟอร์ขนาดใหญ่ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์แบบแยกชิ้นและการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กำลังไฟฟ้า
การจ่ายก๊าซที่แม่นยำและการควบคุมอุณหภูมิแบบวงปิดทำงานร่วมกันเพื่อลดความแปรปรวนภายในชุดการผลิตให้เหลือน้อยที่สุด มีการกำหนดค่าท่อหลายแบบให้เลือกใช้ ทำให้คุณสามารถแยกกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่ และการตกตะกอนของพอลิเมอร์บนแพลตฟอร์มเดียวได้ สามารถจัดการกระบวนการผลิตแบบชุดปริมาณมากได้อย่างน่าเชื่อถือสำหรับการผลิตชิปเทคโนโลยีขั้นสูง
แพลตฟอร์มเตาหลอมรุ่นดั้งเดิมนี้มีฐานการติดตั้งทั่วโลกขนาดใหญ่และมีอะไหล่พร้อมใช้งาน ให้ผลลัพธ์ทางความร้อนที่คาดการณ์ได้ในต้นทุนการเป็นเจ้าของต่ำ เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับโรงงานผลิตที่ต้องการขยายขนาดหรือทดแทนอุปกรณ์ผลิตความร้อนแบบชุดเก่า
ข้อมูลจำเพาะหลักของ Thermco 5200
| ผู้ผลิต | ระบบเทอร์โมโค |
|---|---|
| แบบอย่าง | 5200 |
| ประเภทอุปกรณ์ | เตาเผาแบบกระจายความร้อนหลายท่อแนวนอน |
| ขนาดพื้นผิวสูงสุด | สูงสุด 150 มม. |
| การกำหนดค่าท่อแพลตฟอร์ม | ท่อส่งกระบวนการ 2-4 ท่อ ขึ้นอยู่กับระบบที่ติดตั้ง |
| เขตราบสูงสุด | สูงสุด 1,100 มม. |
| ช่วงการทำงานที่เผยแพร่ | 200–1,350 องศาเซลเซียส ขึ้นอยู่กับฮีตเตอร์และการกำหนดค่ากระบวนการ |
| โซนความร้อน | โซนเตาเผาที่ควบคุมแยกอิสระสามโซน |
| อัตราเร่งเสริม | เพิ่มอุณหภูมิได้สูงสุดถึง 25 องศาเซลเซียสต่อนาที ด้วยตัวเลือกการเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วที่เหมาะสม |
| อัตราการทำความเย็นเสริม | ลดอุณหภูมิได้สูงสุดถึง 20 องศาเซลเซียสต่อนาที ด้วยตัวเลือกการทำความเย็นเร็วที่เหมาะสม |
| การควบคุมกระบวนการ | ระบบควบคุมเตาเผา Thermco; ต้องตรวจสอบเวอร์ชันของตัวควบคุมที่ติดตั้ง |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสต็อกสินค้าในปัจจุบัน การกำหนดค่าท่อ และการยืนยันการตรวจสอบ |
