TRANG CHỦ > Các sản phẩm > Thiết bị bán dẫn hậu kỳ > Thiết bị hỗ trợ quy trình > Máy làm sạch plasma >

Máy làm sạch plasma PVA TePla IoN 200

Hệ thống plasma RF PVA TePla IoN 200. Xử lý được các tấm wafer 200mm và các chất nền lớn. Làm sạch khô loại bỏ các chất hữu cơ và oxit, kích hoạt bề mặt giúp tăng khả năng thấm ướt và độ bám dính. Mô-đun plasma vi sóng tùy chọn để làm sạch không gây hư hại và không tốn điện. Các tùy chọn buồng lên đến 1.200 lít, chế độ làm việc theo mẻ và từng mẻ riêng lẻ.

PVA TePla IoN 200 Plasma Cleaner HÌNH ẢNH THIẾT BỊ
Đánh giá cấu hình Mẫu mã và các tùy chọn đã cài đặt
Nguồn cung mới/đã qua sử dụng Tùy thuộc vào tình trạng sẵn có của dự án
Giao hàng toàn cầu Đánh giá dựa trên điểm đến
Yêu cầu báo giá kỹ thuật (Technical RFQ) Phù hợp gói hàng và quy trình

Thiết bị PVA TePla IoN 200 cung cấp khả năng xử lý plasma được kiểm soát cho các chất nền bán dẫn, loại bỏ cặn hữu cơ và các chất gây ô nhiễm bề mặt thông qua quá trình này. làm sạch bằng plasma ít gây hư hạiNó xử lý các tấm bán dẫn, vật liệu phức hợp và chip đóng gói mà không cần hóa chất ướt mạnh, lý tưởng cho các bước chuẩn bị bề mặt trước khi liên kết và lắng đọng.

Thiết kế buồng nhỏ gọn kết hợp với khả năng điều chỉnh công suất và khí giúp duy trì sự phân bố plasma đồng đều trên bề mặt mẫu. Người vận hành có thể nhanh chóng điều chỉnh quy trình cho các vật liệu khác nhau, trong khi phần cứng mạnh mẽ giúp việc bảo trì trở nên đơn giản cho các hoạt động liên tục trong xưởng.

PVA TePla IoN 200 RF vacuum plasma processing system

Thông tin máy PVA TePla IoN 200

Nhà sản xuấtNhiệt PVA
Người mẫuIoN 200
Loại thiết bịHệ thống xử lý plasma RF chân không
Ứng dụng chínhLàm sạch, kích hoạt và sửa đổi bề mặt
Môi trường xử lýĐiều trị bằng plasma áp suất thấp
Các chi tiết gia công điển hìnhCác chất nền, tấm bán dẫn, linh kiện điện tử và linh kiện công nghiệp tương thích.
Khả năng xử lý bổ sungCác ứng dụng liên quan đến PECVD theo cấu hình hệ thống đã cài đặt.
Tình trạngThiết bị xử lý plasma đã qua sử dụng
Cấu hình thực tếĐã được xác nhận theo hệ thống cụ thể hiện có.
Phạm vi giao hàngDựa trên báo giá và danh sách thiết bị đã được xác nhận.
Ủng hộXem xét lỗi ban đầu, lựa chọn linh kiện phù hợp và thảo luận về phương án sửa chữa.
Vận chuyểnĐóng gói xuất khẩu và giao hàng toàn cầu