RUMAH > Produk > Peralatan Semikonduktor Bahagian Belakang > Peralatan Sokongan Proses > Pembersih Plasma >

Pembersih Plasma PVA TePla IoN 200

Sistem plasma PVA TePla IoN 200 RF. Mengendalikan wafer 200mm dan substrat besar. Cucian kering menyingkirkan organik dan oksida, pengaktifan permukaan meningkatkan kebolehbasahan dan lekatan. Modul plasma gelombang mikro pilihan untuk pembersihan bebas kerosakan dan bebas cas. Pilihan ruang sehingga 1,200 liter, kelompok dan air tunggal

PVA TePla IoN 200 Plasma Cleaner IMEJ PERALATAN
Semakan Konfigurasi Model dan pilihan yang dipasang
Bekalan Baru / Terpakai Tertakluk kepada ketersediaan projek
Penghantaran Global Penilaian berasaskan destinasi
RFQ Teknikal Pemadanan pakej dan proses

PVA TePla IoN 200 memberikan rawatan plasma terkawal untuk substrat semikonduktor, menyingkirkan sisa organik dan bahan cemar permukaan melalui pembersihan plasma kerosakan rendahIa mengendalikan wafer, bahan majmuk dan acuan yang dibungkus tanpa kimia basah yang keras, sesuai untuk langkah penyediaan permukaan pra-ikatan dan pra-pemendapan.

Reka bentuk ruang padatnya digandingkan dengan kuasa boleh tala dan kawalan gas untuk mengekalkan taburan plasma yang seragam merentasi permukaan sampel. Pengendali boleh melaraskan resipi proses dengan cepat untuk bahan yang berbeza, manakala perkakasan yang teguh memastikan penyelenggaraan mudah untuk operasi bengkel yang berterusan.

PVA TePla IoN 200 RF vacuum plasma processing system

Maklumat Mesin PVA TePla IoN 200

PengilangPVA HEAT
ModelIoN 200
Jenis PeralatanSistem pemprosesan plasma RF vakum
Aplikasi UtamaPembersihan, pengaktifan dan pengubahsuaian permukaan
Persekitaran PemprosesanRawatan plasma tekanan rendah
Bahan Kerja LazimSubstrat, wafer, komponen elektronik dan bahagian perindustrian yang serasi
Keupayaan Proses TambahanAplikasi berkaitan PECVD mengikut konfigurasi sistem yang dipasang
KeadaanPeralatan pemprosesan plasma terpakai
Konfigurasi SebenarDisahkan mengikut sistem khusus yang tersedia
Skop PenghantaranBerdasarkan sebut harga dan senarai peralatan yang disahkan
SokonganSemakan kerosakan awal, pemadanan komponen dan perbincangan pembaikan
PenghantaranPembungkusan eksport dan penghantaran ke seluruh dunia