Đối với việc xử lý nhiệt hàng loạt các tấm wafer 6 inch, Thermco 5200 là một thiết bị kinh điển. lò khuếch tán ngang Được sử dụng rộng rãi trong các quy trình oxy hóa, pha tạp và LPCVD. Độ bền lâu dài của nó Vùng nhiệt độ phẳng 1100mm Cung cấp điều kiện nhiệt độ ổn định trên các lô wafer lớn, lý tưởng cho việc sản xuất linh kiện rời và chất bán dẫn công suất.
Việc cung cấp khí chính xác và điều chỉnh nhiệt độ vòng kín hoạt động cùng nhau để giảm thiểu sự biến đổi trong cùng một mẻ sản xuất. Có nhiều cấu hình ống khác nhau, cho phép bạn tách biệt các quá trình oxy hóa, khuếch tán và lắng đọng poly trên cùng một nền tảng. Nó xử lý các mẻ sản xuất khối lượng lớn một cách đáng tin cậy cho việc chế tạo các nút công nghệ đã hoàn thiện.
Nền tảng lò nung truyền thống này có số lượng lớn thiết bị đã được lắp đặt trên toàn cầu và phụ tùng thay thế luôn sẵn có. Nó mang lại kết quả nhiệt ổn định với chi phí sở hữu thấp, là lựa chọn tối ưu cho các nhà máy đang mở rộng quy mô hoặc thay thế thiết bị xử lý nhiệt theo mẻ đã cũ.
Thông số kỹ thuật chính của Thermco 5200
| Nhà sản xuất | Hệ thống Thermoco |
|---|---|
| Người mẫu | 5200 |
| Loại thiết bị | Lò khuếch tán đa ống nằm ngang |
| Kích thước chất nền tối đa | Lên đến 150 mm |
| Cấu hình ống nền tảng | Từ hai đến bốn ống xử lý, tùy thuộc vào hệ thống được lắp đặt. |
| Vùng bằng phẳng tối đa | Lên đến 1.100 mm |
| Phạm vi hoạt động được công bố | 200–1.350°C, tùy thuộc vào thiết bị gia nhiệt và cấu hình quy trình. |
| Khu vực sưởi ấm | Ba khu vực lò nung được điều khiển độc lập |
| Tốc độ tăng tùy chọn | Tăng nhiệt độ lên đến 25°C mỗi phút với tùy chọn tăng nhiệt nhanh phù hợp. |
| Tốc độ làm mát tùy chọn | Tăng nhiệt độ lên đến 20°C mỗi phút với tùy chọn làm lạnh nhanh phù hợp. |
| Kiểm soát quy trình | Hệ thống điều khiển lò sưởi Thermco; cần xác nhận phiên bản bộ điều khiển đã lắp đặt. |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào lượng hàng tồn kho hiện tại, cấu hình ống và xác nhận kiểm tra. |
