TEL P-8 200mm（8インチ）全自動ウェハープローバー

200mmウェハーのテストにTEL P-8を選ぶ理由とは？

東京エレクトロン（TEL）が製造するTEL P-8は、成熟した半導体製造およびテスト用途で使用されている、実績のある自動ウェハープロービングプラットフォームです。

150mmおよび200mmの生産ラインを運用している施設にとって、中古のTEL P-8を購入することは、特に既存のテストプログラム、プローブカード、および生産インフラとの互換性を維持することが優先事項である場合、新しい機器に投​​資するよりも現実的な選択肢となり得ます。

本プラットフォームは、設置された構成およびプロセス要件によっては、パワーデバイス、アナログおよびミックスドシグナルIC、ディスクリート半導体、その他の成熟した半導体技術を含むウェハレベルのテスト用途に適している可能性がある。

主な利点

確立された機械プラットフォーム

TEL P-8は、ウェハの自動位置決めおよびプロービング用に設計された高精度モーションシステムを採用しています。ステージの精度と再現性は、個々の装置の検査と校正によって確認する必要があります。

既存のテストシステムとの統合

本装置は、テラダイン、アドバンテスト、クレデンスなどのメーカーのATEシステムとの統合性について評価可能です。実際の互換性は、テスターのインターフェース、ドッキング構成、制御ソフトウェア、プローブカードの構成によって異なります。

スペアパーツおよびメンテナンスサポート

機械アセンブリ、制御基板、モーター、光学システム、真空部品、および関連サブシステムについては、交換部品および保守サービスが利用可能な場合があります。部品の入手可能性は、機械のバージョンと部品番号に基づいて確認されます。

費用対効果の高い生産能力拡張

適切に検査された中古のTEL P-8は、成熟ノードのウェハーテスト能力を拡張する場合や、既存のプローバーを交換する場合に、機器の調達コストを削減するのに役立つ可能性があります。

TEL P-8 技術仕様

以下の仕様は、プラットフォームの一般的な機能と構成例を示しています。正確な仕様については、実際に使用する機器で確認してください。

機器の検査および改修サービス

GK-SEMI / Xinlingは、入手可能なTEL P-8の状態と顧客の要求に応じて、機器の検査、構成の検証、および改修サポートを提供します。

以下の点検・整備項目については、見積もり前にご相談いただけます。最終的な作業範囲は、購入時の状態等級と合意された受入基準によって決定されます。

1. ステージキャリブレーションと動作検証

• X、Y、Z軸の動作機構に機械的な摩耗や異常な動きがないか点検してください。

• 該当するガイドウェイおよび機械式伝動部品を清掃し、潤滑油を塗布してください。

• ステージの位置決め、位置合わせ、再現性を確認してください。

• 移動範囲、ホーミング動作、および関連センサーを確認してください。

2. チャックおよび温度システムの点検

• ウェハーチャックの表面状態と取り付けの安定性を点検する。

• チャックの真空保持性能を確認してください。

• チャックの動きと、該当する水平調整を確認してください。

• サーマルチャックを取り付けた状態で、温度制御機能をテストしてください。

3. 光学アライメントとパターン認識

• カメラ、レンズ、照明装置を点検する。

• 画像の鮮明度、ピント、照明性能を確認してください。

• サポートされている場合は、ウェーハ位置合わせ機能とパターン認識機能を確認してください。

• 適切なテストウェハが入手可能な場合は、それを使用してアライメント操作を評価する。

4. 空気圧および真空システムの点検

• 空気圧配管、シール、継手、真空接続部を点検する。

• 真空バルブおよび関連する制御部品を点検してください。

• ウェーハ搬送機能とチャック真空機能を確認してください。

• 改修範囲に含まれる損傷または劣化している部品は交換する。

5. 電気系統および制御系統の検証

• 電源装置、制御基板、および電気接続部を点検してください。

• 緊急停止機能と安全インターロックを確認してください。

• コントローラの起動とマシンの初期化を確認します。

• 利用可能な通信インターフェースを、顧客のATE要件と照らし合わせてテストする。

• 合意が得られ、技術的に可能な場合は、機能的なサイクリングテストまたは長時間のランニングテストを実施する。

カスタマイズおよび後付けオプションが利用可能

機械の構成や技術的な実現可能性に応じて、GK-SEMIは既存の半導体テスト作業をサポートするための特定の変更を支援することができます。

ディスプレイおよびオペレーターインターフェースのアップグレード

旧型のディスプレイ部品は、交換または近代化の対象となる場合があります。変更を行う前に、元のコントローラーおよびビデオインターフェースとの互換性を確認する必要があります。

データストレージの近代化

旧式のストレージメディアを使用しているシステムの場合、プログラムの保存とバックアップを簡素化するために、互換性のあるソリッドステートストレージまたはフロッピーディスクドライブのエミュレーションソリューションを検討すると良いでしょう。

ATEテスターのドッキングおよびインターフェースのサポート

お客様の既存のATEプラットフォームに基づいて、機械的なドッキング構成、テスターインターフェースの要件、プローブカードの取り付け、および関連する接続コンポーネントを評価することができます。

特殊なウェハーおよび基板の取り扱い

薄型ウェーハ、特殊基板、または非標準ウェーハ形状への対応に関する変更は、プロジェクトごとに検討される場合があります。実現可能性は、搬送機構、チャック設計、および基板特性によって異なります。

TEL P-8を購入する前に確認すべき事項

最適な構成をご提案し、正確なお見積もりをご提示するために、以下の情報を弊社の機器担当チームまでお知らせください。

ウェハ仕様

• ウェハ直径：150mmまたは200mm

• ウェーハの厚さと基板材料

• 裏面金属化または特殊な表面処理要件

• 特別なウェーハ取り扱い要件はありますか？

試験条件

• 必要な試験温度範囲

• プローブの接触およびオーバードライブの要件

• 必要な位置決め精度と再現性

• ウェハの位置合わせとパターン認識の要件

テスターおよびプローブカードの構成

• ATEの製造元とモデル

• プローブカードの寸法とインターフェースの種類

• 既存の試験装置ドッキングおよびマニピュレータ配置

• 必要な通信インターフェース

工場ユーティリティ

• 使用可能な電源電圧と周波数

• 圧縮乾燥空気の必要量

• 利用可能な真空供給源

• 設置スペースとクリーンルームの要件

TEL P-8機器の供給と世界各国への配送

GK-SEMI / Xinlingは、世界中のお客様に中古半導体製造装置を提供しています。装置の調達、構成確認、検査調整、スペアパーツの手配、国際輸送の手配など、あらゆる面でサポートいたします。

入手可能なTEL P-8装置は、製造年、コントローラバージョン、ウェハ搬送アクセサリ、チャックタイプ、および搭載されているインターフェースハードウェアが異なる場合があります。

ご注文を確定する前に、弊社のチームがお客様の用途に合わせて機器の構成を確認し、入手可能な検査書類、納品条件、および受入要件についてご説明いたします。

輸出梱包、防湿対策、保護用木箱の設置は、機器の寸法、輸送方法、お客様のご要望に応じて手配可能です。

TEL P-8の見積もりを依頼する

半導体製造ライン、設備更新プロジェクト、または研究開発施設向けに、TEL P-8 200mm自動ウェハープローバーをお探しですか？

機械の在庫状況、条件オプション、互換性のある構成、および配送手配については、GK-SEMI / Xinlingまでお問い合わせください。

利用可能な設備と合意された検査範囲に応じて、機械の写真、構成情報、機能テストのビデオ、および検査文書を提供できます。

装置： TEL P-8 自動ウェハープローバー

ウェハーサイズ：150mm / 200mm

供給： 中古品／点検済み／再生品

配送： 世界中で

ウェハーサイズ、テスターモデル、および必要な機器構成をお知らせいただければ、お客様に合わせたお見積もりを作成いたします。